Suport de acoperire cu carbură de tantal

Funcția principală a VeTek SemiconductorAcoperire cu Carbură de Tantal (TaC).Sprijinul este de a îmbunătățirezistență la căldură, rezistență la uzură și rezistență la coroziunea substratului prin acoperirea unui strat de acoperire cu carbură de tantal, astfel încât să îmbunătățească acuratețea și fiabilitatea procesului și să prelungească durata de viață a componentelor. Este un produs de acoperire de înaltă performanță utilizat în domeniul prelucrării semiconductoarelor.

Suportul de acoperire cu carbură de tantal de la VeTek Semiconductor are o duritate Mohs de aproape 9 ~ 10, pe locul doi după diamant. Are o rezistență extrem de puternică la uzură și poate rezista eficient la uzura suprafeței și impactul în timpul procesării, prelungind astfel în mod eficient durata de viață a componentelor echipamentelor. Combinat cu punctul de topire ridicat de aproximativ 3880°C, este adesea folosit pentru acoperirea componentelor cheie ale echipamentelor semiconductoare, cum ar fi acoperirile de suprafață ale structurilor suport, echipamentele de tratament termic, camerele sau garniturile echipamentelor semiconductoare pentru a-și îmbunătăți rezistența la uzură și temperatura ridicată. rezistenţă.

Datorită punctului de topire extrem de ridicat al carburii de tantal de aproximativ 3880°C, în procesele de prelucrare a semiconductoarelor, cum ar fidepunere chimică de vapori (CVD)şidepunere fizică de vapori (PVD), Acoperirea TaC cu rezistență puternică la temperaturi ridicate și rezistență la coroziune chimică poate proteja eficient componentele echipamentului și poate preveni coroziunea sau deteriorarea substratului în medii extreme, oferind protecție eficientă pentru mediile cu temperaturi ridicate în fabricarea de napolitane. Această caracteristică determină, de asemenea, că Suportul de acoperire cu carbură de tantal de la VeTek Semiconductor este adesea folosit în procesele de gravare și corozive.

Suportul de acoperire cu carbură de tantal are, de asemenea, funcția de a reduce contaminarea cu particule. În timpul prelucrării napolitanelor, uzura suprafeței produce de obicei o contaminare cu particule, care afectează calitatea produsului napolitanei. Caracteristicile extreme ale produsului TaC Coating, cu o duritate de aproape 9-10 Mohs, pot reduce eficient această uzură, reducând astfel generarea de particule. Combinat cu conductivitate termică excelentă a acoperirii TaC (aproximativ 21 W/m·K), poate menține o conductivitate termică bună în condiții de temperatură ridicată, îmbunătățind astfel foarte mult randamentul și consistența fabricării plachetelor.

Principalele produse de acoperire TaC ale VeTek Semiconductor includÎncălzitor de acoperire TaC, Crezet de acoperire CVD TaC, Susceptor de rotație a acoperirii TaCşiPiesă de schimb pentru acoperire TaC, etc. și sprijină servicii de produse personalizate. VeTek Semiconductor se angajează să furnizeze produse și soluții tehnice excelente pentru industria semiconductoarelor. Sperăm din suflet să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD TaC：