Încălzitor de acoperire TaC

VeTek Semiconductor este un producător și inovator de top al încălzitorului de acoperire TaC în China. Acest produs are un punct de topire extrem de ridicat (aproximativ 3880°C). Punctul de topire ridicat al încălzitorului de acoperire cu TaC îi permite să funcționeze la temperaturi extrem de ridicate, în special în creșterea straturilor epitaxiale de nitrură de galiu (GaN) în procesul de depunere în vapori chimici organici metal (MOCVD). VeTek Semiconductor se angajează să furnizeze tehnologie avansată și soluții de produse pentru industria semiconductoarelor. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Încălzitorul de acoperire TaC este un element de încălzire de înaltă performanță utilizat pe scară largă în procesele de fabricație a semiconductoarelor. Suprafața sa este acoperită cu material de carbură de tantal (TaC), ceea ce conferă încălzitorului o rezistență excelentă la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune chimică și o conductivitate termică excelentă.

Principalele aplicații ale încălzitorului de acoperire TaC în producția de semiconductori includ:

În timpul procesului de creștere epitaxială cu nitrură de galiu (GaN), încălzitorul de acoperire TaC oferă un mediu de temperatură ridicată controlat cu precizie pentru a se asigura că stratul epitaxial este depus pe substrat la o rată uniformă și de înaltă calitate. Puterea de căldură stabilă ajută la obținerea unui control precis al materialelor cu film subțire, îmbunătățind astfel performanța dispozitivului.

Mai mult decât atât, în procesul de depunere în vapori chimici organici metalici (MOCVD), combinat cu rezistența la temperatură ridicată și conductivitatea termică a acoperirii TaC, încălzitorul de acoperire TaC este de obicei utilizat pentru a încălzi gazul de reacție și, oferind o distribuție uniformă a căldurii, promovează reacția sa chimică pe suprafața substratului, îmbunătățind astfel uniformitatea stratului epitaxial și formând un film de înaltă calitate.

În calitate de lider al industriei în produsele de încălzire cu acoperire TaC, VeTek Semicoducto acceptă întotdeauna servicii de personalizare a produselor și prețuri satisfăcătoare ale produselor. Indiferent care sunt cerințele dvs. specifice, vom potrivi cea mai bună soluție pentru nevoile dvs. de încălzire cu acoperire TaC și așteptăm cu nerăbdare consultația dvs. în orice moment.

Proprietățile fizice de bază ale încălzitorului de acoperire TaC:

Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC
Densitate	14,3 (g/cm³)
Emisivitate specifică	0.3
Coeficientul de dilatare termică	6,3 10-6/K
Duritate (HK)	2000 HK
Rezistenţă	1×10-5 Ohm*cm
Stabilitate termică	<2500℃
Dimensiunea grafitului se modifică	-10~-20um
Grosimea acoperirii	≥20um valoare tipică (35um±10um)