VeTek Semiconductor este o piesă semilună acoperită cu carbură de tantal la scară largă pentru producătorul și inovatorul LPE din China. Suntem specializați în acoperirea TaC de mulți ani. Produsele noastre pot rezista la temperaturi de peste 2000 de grade Celsius, prelungind durata de viață a consumabilelor. Așteptăm cu nerăbdare pentru a deveni partenerul tău pe termen lung în China.
În calitate de producător profesionist, VeTek Semiconductor ar dori să vă ofere piese semilună acoperite cu carbură de tantal de înaltă calitate pentru LPE.
VeTek Semiconductor este un lider profesionist China SiC, acoperire TaC, producător solid de SiC cu înaltă calitate și preț rezonabil. Piesele noastre semilună acoperite cu carbură de tantal pentru LPE sunt utilizate în camera de reacție a echipamentelor de epitaxie orizontală și verticală pentru a transporta substrat, control al temperaturii, căldură conservare, ventilație, protecție și alte funcții, astfel încât să controleze în comun grosimea, dopajul, defectele și alte caracteristici ale materialelor creșterii stratului de epitaxie SiC în interiorul camerei de reacție.
Produse conexe VeTek Semiconductor: semilună superioară, semilună inferioară, capac de protecție, capac izolator, interfață de deviere a aerului de proces. Compania noastră se angajează să ofere clienților o gamă completă de soluții de componente cu camere de reacție acoperite cu SiC și TaC.
Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC | |
Densitate | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitate specifică | 0.3 |
Coeficientul de dilatare termică | 6,3 10-6/K |
Duritate (HK) | 2000 HK |
Rezistenţă | 1×10-5 Ohm*cm |
Stabilitate termică | <2500℃ |
Dimensiunea grafitului se modifică | -10~-20um |
Grosimea stratului de acoperire | ≥20um valoare tipică (35um±10um) |