Piesă de schimb pentru acoperire TaC

VeTek Semiconductor este un producător profesionist de plăci de acoperire TaC și alte piese de schimb pentru acoperire TaC în China. În prezent, acoperirea TaC este utilizată în principal în procese precum creșterea unui singur cristal cu carbură de siliciu (metoda PVT), disc epitaxial (inclusiv epitaxie cu carbură de siliciu, epitaxie LED), etc. Combinată cu stabilitatea bună pe termen lung a plăcii de acoperire TaC, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate a devenit reperul pentru piesele de schimb TaC Coating. Vă așteptăm cu nerăbdare să deveniți partenerul nostru pe termen lung.

Trimite o anchetă

Descriere produs

VeTek SemiconductorPlacă de acoperire TaC is a special material widely used in the semiconductorprocesul de fabricatie. Combinată cu duritatea ridicată și rezistența la uzură, rezistența la temperatură ridicată, rezistența la coroziune, coeficientul de frecare scăzut și o conductivitate termică bună, placa de acoperire TaC joacă un rol de neînlocuit în multe legături ale procesării semiconductoarelor.

În general, aplicațiile dePlăci acoperite cu TaCîn procesarea semiconductoarelor sunt următoarele:

substrat de creștere CVD/ALD: Rezistența la temperaturi ridicate, stabilitatea chimică și coeficientul de frecare scăzut al plăcilor acoperite cu TaC le fac substraturi ideale de creștere CVD/ALD. Poate oferi un mediu de creștere stabil pentru a asigura uniformitatea și densitatea filmului.

Placa masca gravata: Duritatea ridicată și rezistența la coroziune a plăcilor acoperite cu TaC le permit să reziste la procese cu energie înaltă, cum ar fi gravarea cu plasmă, ca plăci de masca de gravare, protejând filmul subiacent.

Disc de lustruit CMP: Rezistența la uzură și coeficientul de frecare scăzut al plăcilor acoperite cu TaC le fac materiale ideale pentru plăcuțele de lustruire CMP, care pot îndepărta eficient particulele și defectele de pe suprafața filmului.

Tub pentru cuptor de înaltă temperatură: Rezistența la temperaturi ridicate și rezistența la coroziune a plăcilor acoperite cu TaC le permit să fie utilizate ca tuburi de cuptoare în cuptoare de temperatură înaltă pentru recoacere la temperatură înaltă, difuzie și alte procese.

Combinat cu caracteristicile produsului alePlacă de acoperire TaC, determină că acest produs joacă un rol cheie de neînlocuit în îmbunătățirea performanței dispozitivului, prelungirea duratei de viață a echipamentului și îmbunătățirea eficienței producției.

Ca producător profesionist deGaN pe acceptor epi SiC, Grafit porosşiPlacă de acoperire TaCîn China, VeTek Semiconductor insistă întotdeauna pe furnizarea de servicii de produse personalizate și se angajează să ofere industriei soluții și tehnologie de top. Așteptăm cu nerăbdare consultarea dumneavoastră ulterioară.

COATING CVD TAC Parametri tehnici：