VeTek Semiconductor ICPPSS (Inductively Coupled Plasma Photoresist Stripping) Proces de gravare Wafer Carrier este proiectat special pentru a satisface cerințele exigente ale proceselor de gravare ale industriei semiconductoarelor. Cu caracteristicile sale avansate, asigură performanță optimă, eficiență și fiabilitate pe tot parcursul procesului de gravare.
Compatibilitate chimică îmbunătățită: suportul pentru napolitană este construit folosind materiale care prezintă o compatibilitate chimică excelentă cu chimia procesului de gravare. Acest lucru asigură compatibilitatea cu o gamă largă de decapanți, decapanți și soluții de curățare, minimizând riscul de reacții chimice sau de contaminare.
Rezistență la temperaturi ridicate: suportul pentru napolitană este proiectat să reziste la temperaturi ridicate întâlnite în timpul procesului de gravare. Își menține integritatea structurală și rezistența mecanică, prevenind deformarea sau deteriorarea chiar și în condiții termice extreme.
Uniformitate superioară de gravare: suportul are un design proiectat cu precizie care promovează distribuția uniformă a agenților de gravare și a gazelor pe suprafața plachetei. Acest lucru are ca rezultat rate de gravare consistente și modele uniforme de înaltă calitate, esențiale pentru obținerea unor rezultate de gravare precise și fiabile.
Stabilitate excelentă a plachetelor: suportul încorporează un mecanism sigur de fixare a plachetelor care asigură o poziționare stabilă și previne mișcarea sau alunecarea plachetei în timpul procesului de gravare. Acest lucru garantează modele de gravare precise și repetabile, minimizând defectele și pierderile de randament.
Compatibilitate cu camerele curate: suportul pentru napolitane este proiectat pentru a îndeplini standardele stricte ale camerelor curate. Are o generație scăzută de particule și o curățenie excelentă, prevenind orice contaminare cu particule care ar putea compromite calitatea și randamentul procesului de gravare. Impuritatea este sub 5 ppm.
Construcție robustă și durabilă: suportul este proiectat folosind materiale de înaltă calitate cunoscute pentru durabilitatea și durata de viață lungă. Poate rezista utilizării repetate și proceselor de curățare riguroase fără a-și compromite performanța sau integritatea structurală.
Design personalizabil: oferim opțiuni personalizabile pentru a satisface cerințele specifice ale clienților. Suportul poate fi adaptat pentru a se adapta la diferite dimensiuni, grosimi și specificații de proces, asigurând compatibilitatea cu diferite echipamente și procese de gravare.
Experimentați fiabilitatea și performanța purtătorului nostru de plăci cu proces de gravare ICP/PSS, conceput pentru a optimiza procesul de gravare în industria semiconductoarelor. Compatibilitatea sa chimică îmbunătățită, rezistența la temperatură ridicată, uniformitatea superioară a gravării, stabilitatea excelentă a plachetelor, compatibilitatea cu camera curată, construcția robustă și designul personalizabil îl fac alegerea ideală pentru aplicațiile dvs. de gravare.
Placă de gravare PSS Placă de gravare ICP Susceptor de gravare ICP
VeTek Semiconductor SiC Coated ICP Etching Carrier este proiectat pentru cele mai solicitante aplicatii de echipamente de epitaxie. Fabricat din material grafit ultra-pur de înaltă calitate, suportul nostru de gravare ICP acoperit cu SiC are o suprafață foarte plană și o rezistență excelentă la coroziune pentru a rezista la condițiile dure în timpul manipulării. Conductivitatea termică ridicată a suportului acoperit cu SiC asigură o distribuție uniformă a căldurii pentru rezultate excelente de gravare. VeTek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să construiască un parteneriat pe termen lung cu dvs.
Citeşte mai multTrimite o anchetăPlaca de transport pentru gravare PSS VeTek Semiconductor pentru semiconductor este un suport de grafit ultra-pur de înaltă calitate, conceput pentru procesele de manipulare a plachetelor. Transportatorii noștri au performanțe excelente și pot funcționa bine în medii dure, temperaturi ridicate și condiții dure de curățare chimică. Produsele noastre sunt utilizate pe scară largă pe multe piețe europene și americane și așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetă