VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.
Principalele produse suntInel defect de acoperire cu carbură de tantal, inel de deviere acoperit cu TaC, piese semilună acoperite cu TaC, disc de rotație planetară acoperit cu carbură de tantal (Aixtron G10), creuzet acoperit cu TaC; Inele acoperite cu TaC; Grafit poros acoperit cu TaC; Susceptor de grafit de acoperire cu carbură de tantal; Inel de ghidare acoperit cu TaC; Placă acoperită cu carbură de tantalu TaC; Susceptor de napolitană acoperit cu TaC; Inel de acoperire TaC; Acoperire TaC din grafit; Bucătă acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.
Grafitul de acoperire TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:
Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.
●Stabilitatea temperaturii
●Puritate ultra înaltă
●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si
●Rezistenta la stoc termic
●Aderență puternică la grafit
●Acoperire de acoperire conformă
● Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)
● Susceptor de încălzire inductiv
● Element de încălzire rezistiv
● Scut termic
Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC | |
Densitate | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitate specifică | 0.3 |
Coeficientul de dilatare termică | 6.3 10-6/K |
Duritate (HK) | 2000 HK |
Rezistenţă | 1×10-5Ohm*cm |
Stabilitate termică | <2500℃ |
Dimensiunea grafitului se modifică | -10~-20um |
Grosimea acoperirii | ≥20um valoare tipică (35um±10um) |
Element | Procent atomic | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Medie | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
În calitate de producător și furnizor de top de produse cu inele acoperite cu TaC în China, VeTek Semiconductor s-a concentrat pe cercetarea și dezvoltarea și producția de diferite produse de acoperire cu TaC. Fiind principalii clienți ai produselor TaC Coating, producătorii europeni și americani au laudat produsele noastre de acoperire. Bine ați venit la consultația dvs. ulterioară.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este o companie chineză care este un producător și furnizor de clasă mondială de susceptor GaN Epitaxy. Lucrăm de mult timp în industria semiconductoarelor, cum ar fi acoperirile cu carbură de siliciu și susceptorul GaN Epitaxy. Vă putem oferi produse excelente și prețuri avantajoase. VeTek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să devină partenerul tău pe termen lung.
Citeşte mai multTrimite o anchetăeTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor este o tavă de grafit acoperită cu carbură de tantal pentru creșterea epitaxială a carburei de siliciu pentru a îmbunătăți calitatea și performanța plachetelor. VeTek este selectat datorită tehnologiei sale avansate de acoperire și soluțiilor durabile pentru a asigura rezultate excelente de epitaxie SiC și durata prelungită a susceptorului.
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎn calitate de producător principal de produse de inele de ghidare de acoperire TaC în China, inelele de ghidare acoperite cu TaC VeTek Semiconductor sunt componente importante în echipamentele MOCVD, asigurând livrarea precisă și stabilă a gazului în timpul creșterii epitaxiale și sunt un material indispensabil în creșterea epitaxială a semiconductorilor. Bine ați venit să ne consultați.
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎn calitate de inovator profesionist și lider al produselor cu inele acoperite cu carbură de tantal în China, inelul acoperit cu carbură de tantal semiconductor VeTek joacă un rol de neînlocuit în creșterea cristalelor de SiC, datorită rezistenței sale excelente la temperaturi ridicate, rezistenței la uzură și conductibilității termice excelente. Bine ați venit consultația dvs. ulterioară.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător profesionist și lider de produse poroase din carbură de tantal în China. Carbura de tantal poroasă este de obicei fabricată prin metoda depunerii chimice în vapori (CVD), asigurând un control precis al mărimii și distribuției porilor și este un instrument de material dedicat mediilor extreme cu temperaturi ridicate. Bine ați venit consultația dvs. ulterioară.
Citeşte mai multTrimite o anchetă