Acoperirile unice de carbură de la VeTek Semiconductor oferă o protecție superioară pieselor din grafit în procesul de epitaxie SiC pentru procesarea materialelor semiconductoare și semiconductoare compozite solicitante. Rezultatul este prelungirea duratei de viață a componentei de grafit, păstrarea stoichiometriei reacției, inhibarea migrării impurităților către aplicații de epitaxie și creștere a cristalelor, ceea ce duce la creșterea randamentului și a calității.
Acoperirile noastre cu carbură de tantal (TaC) protejează componentele critice ale cuptorului și reactorului la temperaturi ridicate (până la 2200°C) de amoniacul fierbinte, hidrogenul, vaporii de siliciu și metalele topite. VeTek Semiconductor are o gamă largă de capabilități de procesare și măsurare a grafitului pentru a satisface cerințele dvs. personalizate, astfel încât să vă putem oferi o acoperire contra cost sau servicii complete, cu echipa noastră de ingineri experți gata să proiecteze soluția potrivită pentru dvs. și aplicația dvs. specifică .
Cristale semiconductoare compuse
VeTek Semiconductor poate oferi acoperiri speciale TaC pentru diferite componente și suporturi. Prin procesul de acoperire lider în industrie VeTek Semiconductor, acoperirea TaC poate obține puritate ridicată, stabilitate la temperatură ridicată și rezistență chimică ridicată, îmbunătățind astfel calitatea produsului a straturilor de cristal TaC/GaN) și EPl și prelungind durata de viață a componentelor critice ale reactorului.
Izolatoare termice
Componente de creștere a cristalelor SiC, GaN și AlN, inclusiv creuzete, suporturi pentru semințe, deflectoare și filtre. Ansambluri industriale, inclusiv elemente de încălzire rezistive, duze, inele de ecranare și dispozitive de lipire, componente ale reactoarelor CVD epitaxiale GaN și SiC, inclusiv suporturi de placă, tăvi satelit, capete de duș, capace și piedestale, componente MOCVD.
Purtător de placă LED (diodă emițătoare de lumină).
Receptor ALD(Semiconductor).
Receptor EPI (proces de epitaxie SiC)
Susceptor prin satelit acoperit cu TaC Susceptor și inel de acoperire TaC Piese de acoperire TaC Piese semilună cu acoperire TaC
Sic | TaC | |
Caracteristici principale | Puritate ultra înaltă, rezistență excelentă la plasmă | Stabilitate excelentă la temperaturi ridicate (conformitatea procesului la temperaturi înalte) |
Puritate | >99,9999% | >99,9999% |
Densitate (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Duritate (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Rezistivitate [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Conductivitate termică (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Coeficient de dilatare termică (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Aplicație | Echipament cu semiconductori Jig din ceramică (inel de focalizare, cap de duș, napolitană falsă) | Creștere monocristal SiC, piese de echipamente Epi, UV LED |
În calitate de producător și furnizor profesionist de mandrină acoperită cu TaC în China, mandrina de acoperire TaC de la VeTek Semiconductor este proiectată special pentru cuptoare cu semiconductor. Cu rezistența la temperaturi ridicate, inerția chimică și performanța excelentă, tehnologia inovatoare a Vetek Semiconductor oferă o soluție de încredere pentru industria de fabricare a semiconductorilor pentru a asigura standarde de producție de înaltă calitate. Credem că produsele noastre vă pot aduce tehnologie avansată și soluții de produse de înaltă calitate.
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎn calitate de producător și furnizor profesionist de tuburi de acoperire TaC în China, tubul de acoperire TaC al VeTek Semiconductor este o componentă cheie pentru creșterea cu succes a monocristalelor de carbură de siliciu. Cu rezistența la temperaturi ridicate, inerția chimică și performanța excelentă, asigură producerea de cristale de înaltă calitate, cu rezultate consistente. Aveți încredere în soluțiile noastre inovatoare pentru a vă îmbunătăți procesul de creștere a cristalului SiC prin metoda PVT și pentru a obține rezultate excelente. Bine ați venit să ne întrebați.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător și inovator de top al încălzitorului de acoperire TaC în China. Acest produs are un punct de topire extrem de ridicat (aproximativ 3880°C). Punctul de topire ridicat al încălzitorului de acoperire TaC îi permite să funcționeze la temperaturi extrem de ridicate, în special în creșterea straturilor epitaxiale de nitrură de galiu (GaN) în procesul de depunere în vapori chimici organici metal (MOCVD). VeTek Semiconductor se angajează să furnizeze tehnologie avansată și soluții de produse pentru industria semiconductoarelor. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător de frunte, inovator și lider de acoperire CVD TAC în China. De mulți ani, ne-am concentrat pe diverse produse de acoperire CVD TAC, cum ar fi capacul de acoperire CVD TaC, inelul de acoperire CVD TaC, suportul de acoperire CVD TaC etc. consultare.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător profesionist de plăci de acoperire TaC și alte piese de schimb pentru acoperire TaC în China. În prezent, acoperirea TaC este utilizată în principal în procese precum creșterea unui singur cristal cu carbură de siliciu (metoda PVT), disc epitaxial (inclusiv epitaxie cu carbură de siliciu, epitaxie LED), etc. Combinată cu stabilitatea bună pe termen lung a plăcii de acoperire TaC, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate a devenit reperul pentru piesele de schimb TaC Coating. Vă așteptăm cu nerăbdare să deveniți partenerul nostru pe termen lung.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător profesionist de GaN pe susceptor SiC epi, acoperire CVD SiC și susceptor de grafit CVD TAC COATING în China. Printre acestea, GaN pe susceptorul episcopic SiC joacă un rol vital în procesarea semiconductoarelor. Prin conductibilitatea termică excelentă, capacitatea de procesare la temperatură ridicată și stabilitatea chimică, asigură eficiența ridicată și calitatea materialului procesului de creștere epitaxială GaN. Așteptăm cu nerăbdare consultarea dumneavoastră ulterioară.
Citeşte mai multTrimite o anchetă