China Procesul de epitaxie SiC Producător, Furnizor, Fabrică

Acoperirile unice de carbură de la VeTek Semiconductor oferă o protecție superioară pieselor din grafit în procesul de epitaxie SiC pentru procesarea materialelor semiconductoare și semiconductoare compozite solicitante. Rezultatul este prelungirea duratei de viață a componentei de grafit, păstrarea stoichiometriei reacției, inhibarea migrării impurităților către aplicații de epitaxie și creștere a cristalelor, ceea ce duce la creșterea randamentului și a calității.

Acoperirile noastre cu carbură de tantal (TaC) protejează componentele critice ale cuptorului și reactorului la temperaturi ridicate (până la 2200°C) de amoniacul fierbinte, hidrogenul, vaporii de siliciu și metalele topite. VeTek Semiconductor are o gamă largă de capabilități de procesare și măsurare a grafitului pentru a satisface cerințele dvs. personalizate, astfel încât să vă putem oferi o acoperire contra cost sau servicii complete, cu echipa noastră de ingineri experți gata să proiecteze soluția potrivită pentru dvs. și aplicația dvs. specifică .

Cristale semiconductoare compuse

VeTek Semiconductor poate oferi acoperiri speciale TaC pentru diferite componente și suporturi. Prin procesul de acoperire lider în industrie VeTek Semiconductor, acoperirea TaC poate obține puritate ridicată, stabilitate la temperatură ridicată și rezistență chimică ridicată, îmbunătățind astfel calitatea produsului a straturilor de cristal TaC/GaN) și EPl și prelungind durata de viață a componentelor critice ale reactorului.

Izolatoare termice

Componente de creștere a cristalelor SiC, GaN și AlN, inclusiv creuzete, suporturi pentru semințe, deflectoare și filtre. Ansambluri industriale, inclusiv elemente de încălzire rezistive, duze, inele de ecranare și dispozitive de lipire, componente ale reactoarelor CVD epitaxiale GaN și SiC, inclusiv suporturi de placă, tăvi satelit, capete de duș, capace și piedestale, componente MOCVD.

Scop:

Purtător de placă LED (diodă emițătoare de lumină).

Receptor ALD(Semiconductor).

Receptor EPI (proces de epitaxie SiC)

Susceptor prin satelit acoperit cu TaC Susceptor și inel de acoperire TaC Piese de acoperire TaC Piese semilună cu acoperire TaC

Comparație dintre acoperirea SiC și acoperirea TaC:

	Sic	TaC
Caracteristici principale	Puritate ultra înaltă, rezistență excelentă la plasmă	Stabilitate excelentă la temperaturi ridicate (conformitatea procesului la temperaturi înalte)
Puritate	>99,9999%	>99,9999%
Densitate (g/cm 3)	3.21	15
Duritate (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Rezistivitate [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Conductivitate termică (W/m-K)	200-360	22
Coeficient de dilatare termică (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Aplicație	Echipament cu semiconductori Jig din ceramică (inel de focalizare, cap de duș, napolitană falsă)	Creștere monocristal SiC, piese de echipamente Epi, UV LED

View as

Receptor de epitaxie GaN

VeTek Semiconductor este o companie chineză care este un producător și furnizor de clasă mondială de susceptor GaN Epitaxy. Lucrăm de mult timp în industria semiconductoarelor, cum ar fi acoperirile cu carbură de siliciu și susceptorul GaN Epitaxy. Vă putem oferi produse excelente și prețuri avantajoase. VeTek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să devină partenerul tău pe termen lung.

Citeşte mai mult Trimite o anchetă

Suceptor de plachetă acoperit cu TaC

eTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor este o tavă de grafit acoperită cu carbură de tantal pentru creșterea epitaxială a carburei de siliciu pentru a îmbunătăți calitatea și performanța plachetelor. VeTek este selectat datorită tehnologiei sale avansate de acoperire și soluțiilor durabile pentru a asigura rezultate excelente de epitaxie SiC și durata prelungită a susceptorului.

Citeşte mai mult Trimite o anchetă

Inele de ghidare de acoperire TaC

În calitate de producător principal de produse de inele de ghidare de acoperire TaC în China, inelele de ghidare acoperite cu TaC VeTek Semiconductor sunt componente importante în echipamentele MOCVD, asigurând livrarea precisă și stabilă a gazului în timpul creșterii epitaxiale și sunt un material indispensabil în creșterea epitaxială a semiconductorilor. Bine ați venit să ne consultați.

Citeşte mai mult Trimite o anchetă

Carbură de tantal poroasă

VeTek Semiconductor este un producător profesionist și lider de produse poroase din carbură de tantal în China. Carbura de tantal poroasă este de obicei fabricată prin metoda depunerii chimice în vapori (CVD), asigurând un control precis al mărimii și distribuției porilor și este un instrument de material dedicat mediilor extreme cu temperaturi ridicate. Bine ați venit consultația dvs. ulterioară.

Citeşte mai mult Trimite o anchetă

Inel din carbură de tantal

În calitate de producător și producător avansat de produse cu inele din carbură de tantal din China, VeTek Semiconductor Inelul din carbură de tantalu are o duritate extrem de ridicată, rezistență la uzură, rezistență la temperaturi ridicate și stabilitate chimică și este utilizat pe scară largă în domeniul producției de semiconductori. În special în CVD, PVD, procesul de implantare ionică, procesul de gravare și procesarea și transportul plachetelor, este un produs indispensabil pentru prelucrarea și fabricarea semiconductoarelor. Aștept cu nerăbdare consultația dvs. ulterioară.

Citeşte mai mult Trimite o anchetă

Suport de acoperire cu carbură de tantal

În calitate de producător profesionist de produse și fabrică de suport pentru acoperire cu carbură de tantal din China, Suportul pentru acoperire cu carbură de tantal VeTek Semiconductor este de obicei utilizat pentru acoperirea suprafeței componentelor structurale sau a componentelor suport din echipamentele semiconductoare, în special pentru protecția suprafeței componentelor cheie ale echipamentelor în procesele de fabricație a semiconductoarelor, cum ar fi CVD și PVD. Bine ați venit consultația dvs. ulterioară.

Citeşte mai mult Trimite o anchetă

<1 2 3 4 5...7 >

În calitate de producător și furnizor profesionist Procesul de epitaxie SiC în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a satisface nevoile specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați Procesul de epitaxie SiC avansat și durabil fabricat în China, ne puteți lăsa un mesaj.