Mandrină pentru napolitană din carbură de siliciu

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck folosește proprietățile excelente ale materialelor cu carbură de siliciu pentru a îndeplini cerințele stricte ale producției de semiconductori, în special în procesarea semiconductoarelor care necesită precizie și fiabilitate extrem de ridicate.

În procesul de prelucrare a semiconductorilor,Carbură de siliciuare o rezistență excelentă la temperaturi ridicate (poate funcționa stabil până la 1400°C), conductivitate scăzută (SiC are o conductivitate relativ scăzută, de obicei 10^^-3S/m) și coeficient de dilatare termică scăzut (aproximativ 4,0 × 10^^-6/°C), care este un material indispensabil și important, potrivit în special pentru fabricarea mandrinei pentru napolitană cu carbură de siliciu.

În timpulproces de creștere epitaxială, un strat subțire de material semiconductor este depus pe un substrat, necesitând o stabilitate absolută a plachetei pentru a asigura straturi uniforme și de înaltă calitate de depunere a filmului. Mandrinul cu vid SiC realizează acest lucru creând o fixare fermă și consistentă a vidului pentru a preveni orice mișcare sau deformare a plachetei.

Mandrina pentru napolitană cu carbură de siliciu oferă, de asemenea, o rezistență excelentă la șocul termic. Schimbările rapide de temperatură sunt obișnuite în fabricarea semiconductoarelor, iar materialele care nu pot rezista acestor fluctuații se pot crăpa, îndoi sau eșua. Carbura de siliciu are un coeficient scăzut de dilatare termică și își poate menține forma și funcționarea chiar și în cazul schimbărilor drastice de temperatură, asigurând că placheta rămâne sigură în timpul procesului de epitaxie, fără mișcare sau aliniere greșită.

Mai mult, celproces de epitaxieimplică adesea gaze reactive și alte substanțe chimice corozive. Inerția chimică a mandrinei pentru napolitană SiC asigură că nu este afectată de aceste medii dure, menținându-și performanța și prelungindu-și durata de viață. Această durabilitate chimică nu numai că reduce frecvența înlocuirii Wafer Chuck, dar asigură și performanță constantă a produsului pe mai multe cicluri de producție, ajutând la îmbunătățirea eficienței generale și a rentabilității procesului de fabricație a semiconductorilor.

VeTek Semiconductor este unul dintre cei mai mari producători și furnizori de produse din carbură de siliciu Wafer Chuck din China. Putem furniza diverse tipuri de produse Chuck, cum ar fiMandrină ceramică SiC poroasă, Mandrină de vid SiC poroasă, Mandrină cu vid din ceramică poroasăşiMandrină acoperită cu TaC, etc. VeTek Semiconductor se angajează să furnizeze tehnologie avansată și soluții de produse pentru industria semiconductorilor. Sperăm din suflet să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

DATE SEM ALE CVDSTRUCTURA DE CRISTAL DE FILM SIC：

VeTek Semiconductor Magazine de mandrine cu carbură de siliciu：