China Nitrură de siliciu Producător, Furnizor, Fabrică

VeTek Semiconductor se concentrează pe producția de nitrură de siliciu și are o echipă de cercetare și dezvoltare compusă din experți seniori și talente tehnice de top. Ceramica cu nitrură de siliciu are avantajele durității, rezistenței la căldură, rezistenței la uzură și rezistenței la coroziune a materialelor ceramice generale și au avantajele unei bune rezistențe la șocuri termice, rezistență la fluaj la temperaturi ridicate, auto-ungere bună și stabilitate chimică bună și sunt pe scară largă. utilizat în domeniul energiei noi, industriei chimice, aerospațiale și semiconductoare.

Materialele cu nitrură de siliciu ale VeTek Semiconductor prezintă următoarele avantaje proeminente:

1. Stabilitate chimică excelentă

Ceramica cu nitrură de siliciu are o stabilitate chimică excelentă și poate rezista la o varietate de acizi puternici, alcalii și gaze corozive. În procesul de fabricație a semiconductorilor, adesea trebuie să se ocupe de substanțe chimice corozive, ceramica cu nitrură de siliciu poate oferi o garanție de performanță stabilă pe termen lung.

2. Proprietăți mecanice excelente

Ceramica cu nitrură de siliciu are duritate mare, rezistență excelentă la compresiune și rezistență la uzură, capabilă să reziste la stres mecanic și uzura suprafeței, nu se deformează sau rupe ușor. Această proprietate mecanică îl face foarte potrivit ca material pentru piesele structurale și de proces din echipamentele semiconductoare.

3. Stabilitate la temperaturi ridicate

Ceramica cu nitrură de siliciu poate menține stabilitatea în medii cu temperaturi ridicate, nu este ușor de înmuiat sau topit și poate rezista la procesarea și manipularea la temperatură înaltă în procesul de fabricație a semiconductorilor. Acest lucru îi permite să fie utilizat la fabricarea componentelor cheie ale echipamentelor de proces de înaltă temperatură, cum ar fi clemele, componentele camerei de reacție și așa mai departe.

4. Proprietăți izolante excelente

Proprietățile de izolare sunt critice în fabricarea dispozitivelor semiconductoare. Ceramica cu nitrură de siliciu are proprietăți izolante bune, care pot izola și proteja eficient componentele circuitului de scurgerile de curent sau interferențe electromagnetice, ajutând la îmbunătățirea stabilității și fiabilității dispozitivului.

5. Conductivitate termică și conductivitate termică

Ceramica cu nitrură de siliciu are o conductivitate termică ridicată, poate conduce și disipa eficient căldura generată de dispozitiv, ajutând la menținerea stabilității temperaturii dispozitivului în procesul de operare. Acest lucru este esențial pentru funcționarea de înaltă performanță a dispozitivelor semiconductoare.

Aplicațiile materialelor cu nitrură de siliciu de la VeTek Semiconductor în industria solară și a semiconductoarelor includ în principal:

1. Mandrine electrostatice și componente ale camerei de gravare

Ceramica cu nitrură de siliciu este adesea folosită ca materiale pentru mandrine electrostatice și componente ale camerei de gravare în fabricarea semiconductoarelor datorită stabilității lor chimice excelente și rezistenței la temperaturi ridicate. Mandrinele electrostatice sunt folosite pentru a fixa și stabiliza plachetele sau substraturile, în timp ce componentele camerei de gravare sunt folosite pentru a rezista la gaze corozive și medii cu temperaturi ridicate.

2. plăci de distribuție a gazelor și reflectoare

Ceramica cu nitrură de siliciu este, de asemenea, utilizată la fabricarea echipamentelor semiconductoare în plăcile de distribuție a gazului și reflectoare. Plăcile de distribuție a gazelor sunt folosite pentru a distribui uniform gazele reactive sau protectoare în camera de reacție, în timp ce reflectoarele sunt utilizate pentru a optimiza distribuția și reflectarea luminii în camera de reacție pentru a îmbunătăți eficiența și uniformitatea reacției.

3. Suporturi și componente termice

Ceramica cu nitrură de siliciu este adesea folosită ca suporturi și componente de management termic în echipamentele de fabricare a semiconductoarelor. Aceste componente trebuie să aibă o rezistență mecanică bună, rezistență la uzură și conductivitate termică pentru a asigura funcționarea stabilă a echipamentului și acuratețea procesării dispozitivului.

4. Tampoane de lustruire chimică mecanică (CMP).

Ceramica cu nitrură de siliciu este utilizată pe scară largă ca material de tampon în procesul de lustruire chimică mecanică (CMP). Are planeitate excelentă și rezistență la uzură și poate oferi un suport stabil în timpul procesului de lustruire pentru a asigura planeitatea și precizia suprafeței plachetei semiconductoare.