China Carbură de siliciu solidă Producător, Furnizor, Fabrică

Carbura de siliciu solidă VeTek Semiconductor este o componentă ceramică importantă în echipamentele de gravare cu plasmă, piesele din carbură de siliciu solidă (carbură de siliciu CVD) din echipamentul de gravare includ inele de focalizare, duș cu gaz, tavă, inele de margine etc. Datorită reactivității și conductibilității scăzute ale carbură de siliciu solidă (carbură de siliciu CVD) la gaze de gravare care conțin clor și fluor, este un material ideal pentru inelele de focalizare a echipamentelor de gravare cu plasmă și alte componente

De exemplu, inelul de focalizare este o parte importantă plasată în afara plachetei și în contact direct cu placheta, prin aplicarea unei tensiuni inelului pentru a focaliza plasma care trece prin inel, concentrând astfel plasma pe plachetă pentru a îmbunătăți uniformitatea prelucrare. Inelul de focalizare tradițional este fabricat din siliciu sau cuarț, siliciu conductiv ca material obișnuit al inelului de focalizare, este aproape aproape de conductivitatea plachetelor de siliciu, dar lipsa este rezistența slabă la gravare în plasmă care conține fluor, materiale pentru piesele mașinii de gravat adesea folosite pentru o perioadă de timp, va exista un fenomen de coroziune grav, reducând serios eficiența producției.

Comparație între inelul de focalizare pe bază de Si și inelul de focalizare CVD SiC
Articol	Si	CVD SiC
Densitate (g/cm3)	2.33	3.21
Banda interzisă (eV)	1.12	2.3
Conductivitate termică (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10-6/℃)	2.6	4
Modulul elastic (GPa)	150	440
Duritate (GPa)	11.4	24.5
Rezistenta la uzura si coroziune	Sărac	Excelent

VeTek Semiconductor oferă piese avansate din carbură de siliciu solidă (carbură de siliciu CVD), cum ar fi inele de focalizare SiC pentru echipamentele semiconductoare. Inelele noastre de focalizare din carbură de siliciu solidă depășesc siliciul tradițional în ceea ce privește rezistența mecanică, rezistența chimică, conductibilitatea termică, durabilitatea la temperatură ridicată și rezistența la gravarea ionică.

Caracteristicile cheie ale inelelor noastre de focalizare SiC includ:

Densitate mare pentru rate reduse de gravare.

Izolație excelentă cu bandgap mare.

Conductivitate termică ridicată și coeficient scăzut de dilatare termică.

Rezistență superioară la impact mecanic și elasticitate.

Duritate ridicată, rezistență la uzură și rezistență la coroziune.

Fabricate folosind tehnici de depunere chimică în vapori îmbunătățită cu plasmă (PECVD), inelele noastre de focalizare SiC îndeplinesc cerințele tot mai mari ale proceselor de gravare în fabricarea semiconductorilor. Sunt proiectate pentru a rezista la o putere și o energie mai mare a plasmei, în special în sistemele cu plasmă cuplată capacitiv (CCP).

Inelele de focalizare SiC ale VeTek Semiconductor oferă performanță și fiabilitate excepționale în fabricarea dispozitivelor semiconductoare. Alegeți componentele noastre SiC pentru o calitate și eficiență superioare.

View as

Bloc CVD SiC pentru creșterea cristalelor SiC

VeTek Semiconductor se concentrează pe cercetarea, dezvoltarea și industrializarea surselor în vrac CVD-SiC, a acoperirilor CVD SiC și a acoperirilor CVD TaC. Luând ca exemplu blocul CVD SiC pentru SiC Crystal Growth, tehnologia de procesare a produsului este avansată, rata de creștere este rapidă, rezistența la temperaturi ridicate și rezistența la coroziune este puternică. Bine ați venit să vă întrebați.

Citeşte mai mult Trimite o anchetă

SiC Crystal Growth Noua tehnologie

Carbura de siliciu (SiC) de puritate ultra-înaltă a Vetek Semiconductor, formată prin depunere chimică în vapori (CVD) poate fi utilizată ca material sursă pentru creșterea cristalelor de carbură de siliciu prin transport fizic de vapori (PVT). În SiC Crystal Growth New Technology, materialul sursă este încărcat într-un creuzet și sublimat pe un cristal sămânță. Utilizați blocurile CVD-SiC aruncate pentru a recicla materialul ca sursă pentru creșterea cristalelor de SiC. Bine ați venit să stabiliți un parteneriat cu noi.

Citeşte mai mult Trimite o anchetă

Cap de duș CVD SiC

VeTek Semiconductor este un producător și inovator de cap de duș CVD SiC în China. Suntem specializați în materiale SiC de mulți ani. Capul de duș CVD SiC este ales ca material inel de focalizare datorită stabilității sale termochimice excelente, rezistenței mecanice ridicate și rezistenței la eroziune cu plasmă. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul tău pe termen lung în China.

Citeşte mai mult Trimite o anchetă

Cap de duș SiC

VeTek Semiconductor este un producător și inovator de top din China. Suntem specializați în materiale SiC de mulți ani. Capul de duș SiC este ales ca material inel de focalizare datorită stabilității sale termochimice excelente, rezistenței mecanice ridicate și rezistenței la eroziunea cu plasmă. .Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Citeşte mai mult Trimite o anchetă

Susceptor cilindric acoperit cu SiC pentru LPE PE2061S

VeTek Semiconductor este un susceptor de baril acoperit cu SiC pentru producător și inovator din China. Suntem specializați în material de acoperire SiC de mulți ani. Oferim un susceptor de butoi acoperit cu SiC, conceput special pentru napolitanele LPE PE2061S de 4 inchi. Acest susceptor are o acoperire durabilă din carbură de siliciu care îmbunătățește performanța și durabilitatea în timpul procesului LPE (Liquid Phase Epitaxy). Vă așteptăm cu drag să vizitați fabrica noastră din China.

Citeşte mai mult Trimite o anchetă

Cap de duș cu gaz SiC solid

VeTek Semiconductor este un producător și inovator de cap de duș cu gaz solid SiC în China. Suntem specializați în materiale semiconductoare de mulți ani. Designul multi-porozitate al capului de duș cu gaz solid SiC VeTek Semiconductor asigură că căldura generată în procesul CVD poate fi dispersată , asigurându-ne că substratul este încălzit uniform. Așteptăm cu nerăbdare să stabilim pe termen lung cu tine în China.

Citeşte mai mult Trimite o anchetă

<1 2 >

În calitate de producător și furnizor profesionist Carbură de siliciu solidă în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a satisface nevoile specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați Carbură de siliciu solidă avansat și durabil fabricat în China, ne puteți lăsa un mesaj.