Carbura de siliciu solidă VeTek Semiconductor este o componentă ceramică importantă în echipamentele de gravare cu plasmă, carbură de siliciu solidă (Carbură de siliciu CVD) părțile din echipamentul de gravare includinele de focalizare, duș cu gaz, tavă, inele de margine, etc. Datorită reactivității și conductivității scăzute a carburii de siliciu solide (carbură de siliciu CVD) la gazele de gravare care conțin clor și fluor, este un material ideal pentru inelele de focalizare ale echipamentelor de gravare cu plasmă și alte componente.
De exemplu, inelul de focalizare este o parte importantă plasată în afara plachetei și în contact direct cu placheta, prin aplicarea unei tensiuni inelului pentru a focaliza plasma care trece prin inel, concentrând astfel plasma pe plachetă pentru a îmbunătăți uniformitatea prelucrare. Inelul de focalizare tradițional este realizat din silicon saucuarţ, Siliciu conductiv ca material inel de focalizare obișnuit, este aproape aproape de conductivitatea plachetelor de siliciu, dar lipsa este rezistența slabă la gravare în plasmă care conține fluor, materiale pentru piesele mașinii de gravare adesea utilizate pentru o perioadă de timp, vor exista serioase fenomen de coroziune, reducând serios eficiența producției.
SInel de focalizare SiCPrincipiul de lucru:
Comparație între inelul de focalizare pe bază de Si și inelul de focalizare CVD SiC:
Comparație între inelul de focalizare pe bază de Si și inelul de focalizare CVD SiC | ||
Articol | Si | CVD SiC |
Densitate (g/cm3) | 2.33 | 3.21 |
Interval de bandă (eV) | 1.12 | 2.3 |
Conductivitate termică (W/cm℃) | 1.5 | 5 |
CTE (x10-6/℃) | 2.6 | 4 |
Modulul elastic (GPa) | 150 | 440 |
Duritate (GPa) | 11.4 | 24.5 |
Rezistenta la uzura si coroziune | Sărac | Excelent |
VeTek Semiconductor oferă piese avansate din carbură de siliciu solidă (carbură de siliciu CVD), cum ar fi inele de focalizare SiC pentru echipamentele semiconductoare. Inelele noastre de focalizare din carbură de siliciu solidă depășesc siliciul tradițional în ceea ce privește rezistența mecanică, rezistența chimică, conductibilitatea termică, durabilitatea la temperatură ridicată și rezistența la gravarea ionică.
Densitate mare pentru rate reduse de gravare.
Izolație excelentă cu bandgap mare.
Conductivitate termică ridicată și coeficient scăzut de dilatare termică.
Rezistență superioară la impact mecanic și elasticitate.
Duritate ridicată, rezistență la uzură și rezistență la coroziune.
Fabricat folosinddepunere chimică de vapori îmbunătățită cu plasmă (PECVD)tehnici, inelele noastre de focalizare SiC îndeplinesc cerințele tot mai mari ale proceselor de gravare în fabricarea semiconductorilor. Sunt proiectate pentru a rezista la o putere și o energie mai mare a plasmei, în special înplasmă cuplată capacitiv (CCP)sisteme.
Inelele de focalizare SiC ale VeTek Semiconductor oferă performanță și fiabilitate excepționale în fabricarea dispozitivelor semiconductoare. Alegeți componentele noastre SiC pentru o calitate și eficiență superioare.
VeTek Semiconductor este un producător lider de echipamente semiconductoare din China și un producător și furnizor profesionist de cap de duș în formă de disc solid SiC. Capul nostru de duș în formă de disc este utilizat pe scară largă în producția de depunere a filmului subțire, cum ar fi procesul CVD pentru a asigura distribuția uniformă a gazului de reacție și este una dintre componentele de bază ale cuptorului CVD.
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎn calitate de producător și fabrică avansată de produse de etanșare SiC din China. Piesa de etanșare VeTek Semiconducto SiC este o componentă de etanșare de înaltă performanță utilizată pe scară largă în procesarea semiconductoarelor și în alte procese de temperatură extremă și presiune înaltă. Bine ați venit consultația dvs. ulterioară.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător și furnizor de top de produse pentru cap de duș cu carbură de siliciu în China. Capul de duș SiC are o toleranță excelentă la temperatură ridicată, stabilitate chimică, conductivitate termică și performanță bună de distribuție a gazului, ceea ce poate realiza o distribuție uniformă a gazului și poate îmbunătăți calitatea filmului. Prin urmare, este de obicei utilizat în procese la temperaturi înalte, cum ar fi depunerea chimică în vapori (CVD) sau procesele de depunere fizică în vapori (PVD). Bine ați venit consultația dvs. ulterioară.
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎn calitate de producător profesionist de inel de etanșare cu carbură de siliciu și fabrică din China, inelul de etanșare cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor este utilizat pe scară largă în echipamentele de procesare a semiconductoarelor datorită rezistenței sale excelente la căldură, rezistenței la coroziune, rezistenței mecanice și conductivității termice. Este potrivit în special pentru procesele care implică temperaturi ridicate și gaze reactive, cum ar fi CVD, PVD și gravarea cu plasmă și este o alegere cheie a materialului în procesul de fabricație a semiconductorilor. Întrebările dumneavoastră suplimentare sunt binevenite.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor se concentrează pe cercetarea, dezvoltarea și industrializarea surselor în vrac CVD-SiC, a acoperirilor CVD SiC și a acoperirilor CVD TaC. Luând ca exemplu blocul CVD SiC pentru SiC Crystal Growth, tehnologia de procesare a produsului este avansată, rata de creștere este rapidă, rezistența la temperaturi ridicate și rezistența la coroziune este puternică. Bine ați venit să vă întrebați.
Citeşte mai multTrimite o anchetăCarbura de siliciu (SiC) de puritate ultra-înaltă a Vetek Semiconductor, formată prin depunere chimică în vapori (CVD) poate fi utilizată ca material sursă pentru creșterea cristalelor de carbură de siliciu prin transport fizic de vapori (PVT). În SiC Crystal Growth New Technology, materialul sursă este încărcat într-un creuzet și sublimat pe un cristal sămânță. Utilizați blocurile CVD-SiC aruncate pentru a recicla materialul ca sursă pentru creșterea cristalelor de SiC. Bine ați venit să stabiliți un parteneriat cu noi.
Citeşte mai multTrimite o anchetă