Piesă semilună de 8 inch pentru fabrica de reactoare LPE

Producător de discuri de rotație planetară acoperite cu carbură de tantal

China Solid SiC Inel de focalizare gravat

Susceptor cilindric acoperit cu SiC pentru furnizorul LPE PE2061S

Acoperire cu carbură de tantal

VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.

Principalele produse sunt inelul de defectare a acoperirii cu carbură de tantal, inelul de deviere acoperit cu TaC, piese semilună acoperite cu TaC, discul de rotație planetară acoperit cu carbură de tantal (Aixtron G10), creuzetul acoperit cu TaC; Inele acoperite cu TaC; Grafit poros acoperit cu TaC; Susceptor de grafit de acoperire cu carbură de tantal; Inel de ghidare acoperit cu TaC; Placă acoperită cu carbură de tantalu TaC; Susceptor de napolitană acoperit cu TaC; Inel de acoperire TaC; Acoperire TaC acoperire din grafit; TaC Coated Chunk etc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.

Grafitul de acoperire cu TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.

Caracteristici cheie:

Stabilitatea temperaturii

Puritate ultra înaltă

Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si

Rezistenta la stoc termic

Aderență puternică la grafit

Acoperire de acoperire conformă

Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)

Aplicatii:

Purtător de napolitane

Susceptor de încălzire inductiv

Element de încălzire rezistiv

Disc satelit

Cap de duș

Inel de ghidare

Receptor LED Epi

Duza de injectie

Inel de mascare

Scut termic

Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC
Densitate	14,3 (g/cm³)
Emisivitate specifică	0.3
Coeficientul de dilatare termică	6,3 10-6/K
Duritate (HK)	2000 HK
Rezistenţă	1×10-5 Ohm*cm
Stabilitate termică	<2500℃
Dimensiunea grafitului se modifică	-10~-20um
Grosimea acoperirii	≥20um valoare tipică (35um±10um)

Date EDX de acoperire TaC

TaC coating EDX data

Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC

Element	Procent atomic
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Medie
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrina de acoperire TaC TaC acoperire disc planetar Placă acoperită cu TaC Placă de rotație a acoperirii TaC Susceptor de acoperire TaC Acoperire cu acoperire CVD TaC Inel de acoperire CVD TaC Placă de acoperire TaC

Acoperire cu carbură de siliciu

VeTek Semiconductor este specializată în producția de produse de acoperire cu carbură de siliciu ultra pure, aceste acoperiri sunt concepute pentru a fi aplicate pe grafit purificat, ceramică și componente metalice refractare.

Acoperirile noastre de înaltă puritate sunt destinate în primul rând utilizării în industriile semiconductoare și electronice. Acestea servesc ca un strat de protecție pentru purtătorii de plachete, susceptori și elemente de încălzire, protejându-le de mediile corozive și reactive întâlnite în procese precum MOCVD și EPI. Aceste procese sunt parte integrantă a procesării plachetelor și a fabricării dispozitivelor. În plus, acoperirile noastre sunt potrivite pentru aplicații în cuptoare cu vid și încălzire a probelor, unde se întâlnesc medii de vid înalt, reactive și oxigen.

La VeTek Semiconductor, oferim o soluție cuprinzătoare cu capabilitățile noastre avansate de atelier de mașini. Acest lucru ne permite să fabricăm componentele de bază folosind grafit, ceramică sau metale refractare și să aplicăm acoperirile ceramice SiC sau TaC în interior. Oferim, de asemenea, servicii de acoperire pentru piesele furnizate de client, asigurând flexibilitate pentru a răspunde nevoilor diverse.

Produsele noastre de acoperire cu carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în epitaxie Si, epitaxie SiC, sistem MOCVD, proces RTP/RTA, proces de gravare, proces de gravare ICP/PSS, proces de diferite tipuri de LED, inclusiv LED albastru și verde, LED UV și UV adânc LED etc., care este adaptat echipamentelor de la LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI și așa mai departe.

Piese de reactor pe care le putem face:

Acoperirea cu carbură de siliciu mai multe avantaje unice:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametru de acoperire cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor:

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC
Proprietate	Valoare tipică
Structura de cristal	FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111).
Densitate	3,21 g/cm³
Duritate	Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g)
Dimensiunea boabelor	2~10μm
Puritatea chimică	99,99995%
Capacitate termică	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimare	2700℃
Rezistența la încovoiere	415 MPa RT în 4 puncte
Modulul Young	430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
Conductivitate termică	300W·m-1·K-1
Expansiune termică (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

Produse recomandate

Despre noi

VeTek semiconductor Technology Co., LTD, fondată în 2016, este un furnizor de top de materiale avansate de acoperire pentru industria semiconductoarelor. Fondatorul nostru, un fost expert de la Institutul de Materiale al Academiei Chineze de Științe, a înființat compania cu accent pe dezvoltarea de soluții de ultimă oră pentru industrie.

Principalele noastre oferte de produse includAcoperiri cu carbură de siliciu CVD (SiC)., acoperiri cu carbură de tantal (TaC)., SiC în vrac, pulberi de SiC și materiale SiC de înaltă puritate. Principalele produse sunt susceptor de grafit acoperit cu SiC, inele de preîncălzire, inel de deviere acoperit cu TaC, piese semilună etc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.

Citeşte mai mult