VeTek Semiconductor este specializată în producția de produse de acoperire cu carbură de siliciu ultra pure, aceste acoperiri sunt concepute pentru a fi aplicate pe grafit purificat, ceramică și componente metalice refractare.
Acoperirile noastre de înaltă puritate sunt destinate în primul rând utilizării în industriile semiconductoare și electronice. Acestea servesc ca un strat de protecție pentru purtătorii de plachete, susceptori și elemente de încălzire, protejându-le de mediile corozive și reactive întâlnite în procese precum MOCVD și EPI. Aceste procese sunt parte integrantă a procesării plachetelor și a fabricării dispozitivelor. În plus, acoperirile noastre sunt potrivite pentru aplicații în cuptoare cu vid și încălzire a probelor, unde se întâlnesc medii de vid înalt, reactive și oxigen.
La VeTek Semiconductor, oferim o soluție cuprinzătoare cu capabilitățile noastre avansate de atelier de mașini. Acest lucru ne permite să fabricăm componentele de bază folosind grafit, ceramică sau metale refractare și să aplicăm acoperirile ceramice SiC sau TaC în interior. Oferim, de asemenea, servicii de acoperire pentru piesele furnizate de client, asigurând flexibilitate pentru a răspunde nevoilor diverse.
Produsele noastre de acoperire cu carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în epitaxie Si, epitaxie SiC, sistem MOCVD, proces RTP/RTA, proces de gravare, proces de gravare ICP/PSS, proces de diferite tipuri de LED, inclusiv LED albastru și verde, LED UV și UV adânc LED etc., care este adaptat echipamentelor de la LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI și așa mai departe.
Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC | |
Proprietate | Valoare tipică |
Structura de cristal | FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111). |
Densitate | 3,21 g/cm³ |
Duritate | Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g) |
Dimensiunea boabelor | 2~10μm |
Puritatea chimică | 99,99995% |
Capacitate termică | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura de sublimare | 2700℃ |
Rezistența la încovoiere | 415 MPa RT în 4 puncte |
Modulul Young | 430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃ |
Conductivitate termică | 300W·m-1·K-1 |
Expansiune termică (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
În calitate de producător și furnizor de top de produse cu mandrină cu carbură de siliciu din China, mandrina pentru napolitană cu carbură de siliciu de la VeTek Semiconductor joacă un rol de neînlocuit în procesul de creștere epitaxială, datorită rezistenței sale excelente la temperaturi ridicate, rezistenței la coroziune chimică și rezistenței la șoc termic. Bine ați venit consultația dvs. ulterioară.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător și furnizor de top de produse pentru cap de duș cu carbură de siliciu în China. Capul de duș SiC are o toleranță excelentă la temperatură ridicată, stabilitate chimică, conductivitate termică și performanță bună de distribuție a gazului, ceea ce poate realiza o distribuție uniformă a gazului și poate îmbunătăți calitatea filmului. Prin urmare, este de obicei utilizat în procese la temperaturi înalte, cum ar fi depunerea chimică în vapori (CVD) sau procesele de depunere fizică în vapori (PVD). Bine ați venit consultația dvs. ulterioară.
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎn calitate de producător profesionist de inel de etanșare cu carbură de siliciu și fabrică din China, inelul de etanșare cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor este utilizat pe scară largă în echipamentele de procesare a semiconductoarelor datorită rezistenței sale excelente la căldură, rezistenței la coroziune, rezistenței mecanice și conductivității termice. Este potrivit în special pentru procesele care implică temperaturi ridicate și gaze reactive, cum ar fi CVD, PVD și gravarea cu plasmă și este o alegere cheie a materialului în procesul de fabricație a semiconductorilor. Întrebările dumneavoastră suplimentare sunt binevenite.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător profesionist și lider de produse de suport pentru napolitane acoperite cu SiC în China. Suportul pentru napolitană acoperit cu SiC este un suport pentru napolitană pentru procesul de epitaxie în procesarea semiconductoarelor. Este un dispozitiv de neînlocuit care stabilizează placheta și asigură creșterea uniformă a stratului epitaxial. Bine ați venit consultația dvs. ulterioară.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător și o fabrică profesională de suporturi epi wafer din China. Epi Wafer Holder este un suport pentru napolitane pentru procesul de epitaxie în procesarea semiconductoarelor. Este un instrument cheie pentru a stabiliza napolitana și pentru a asigura o creștere uniformă a stratului epitaxial. Este utilizat pe scară largă în echipamentele de epitaxie, cum ar fi MOCVD și LPCVD. Este un dispozitiv de neînlocuit în procesul de epitaxie. Bine ați venit consultația dvs. ulterioară.
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎn calitate de producător profesionist de produse Aixtron Satellite Wafer Carrier și inovator în China, VeTek Semiconductor Aixtron Satellite Wafer Carrier este un purtător de napolitane utilizat în echipamentele AIXTRON, utilizat în principal în procesele MOCVD în procesarea semiconductoarelor și este deosebit de potrivit pentru temperatură înaltă și de înaltă precizie. procese de prelucrare a semiconductoarelor. Purtătorul poate oferi suport stabil pentru plachetă și depunerea uniformă a filmului în timpul creșterii epitaxiale MOCVD, care este esențială pentru procesul de depunere a stratului. Bine ați venit consultația dvs. ulterioară.
Citeşte mai multTrimite o anchetă