Acasă > Produse > Acoperire cu carbură de siliciu

China Acoperire cu carbură de siliciu Producător, Furnizor, Fabrică

VeTek Semiconductor este specializată în producția de produse de acoperire cu carbură de siliciu ultra pure, aceste acoperiri sunt concepute pentru a fi aplicate pe grafit purificat, ceramică și componente metalice refractare.

Acoperirile noastre de înaltă puritate sunt destinate în primul rând utilizării în industriile semiconductoare și electronice. Acestea servesc ca un strat de protecție pentru purtătorii de plachete, susceptori și elemente de încălzire, protejându-le de mediile corozive și reactive întâlnite în procese precum MOCVD și EPI. Aceste procese sunt parte integrantă a procesării plachetelor și a fabricării dispozitivelor. În plus, acoperirile noastre sunt potrivite pentru aplicații în cuptoare cu vid și încălzire a probelor, unde se întâlnesc medii de vid înalt, reactive și oxigen.

La VeTek Semiconductor, oferim o soluție cuprinzătoare cu capabilitățile noastre avansate de atelier de mașini. Acest lucru ne permite să fabricăm componentele de bază folosind grafit, ceramică sau metale refractare și să aplicăm acoperirile ceramice SiC sau TaC în interior. Oferim, de asemenea, servicii de acoperire pentru piesele furnizate de client, asigurând flexibilitate pentru a răspunde nevoilor diverse.

Produsele noastre de acoperire cu carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în epitaxie Si, epitaxie SiC, sistem MOCVD, proces RTP/RTA, proces de gravare, proces de gravare ICP/PSS, proces de diferite tipuri de LED, inclusiv LED albastru și verde, LED UV și UV adânc LED etc., care este adaptat echipamentelor de la LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI și așa mai departe.


Piese de reactor pe care le putem face:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Acoperirea cu carbură de siliciu mai multe avantaje unice:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Parametru de acoperire cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor:

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC
Proprietate Valoare tipică
Structura de cristal FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111).
Densitate 3,21 g/cm³
Duritate Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g)
Dimensiunea boabelor 2~10μm
Puritatea chimică 99,99995%
Capacitate termică 640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimare 2700℃
Rezistența la încovoiere 415 MPa RT în 4 puncte
Modulul Young 430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
Conductivitate termică 300W·m-1·K-1
Expansiune termică (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Piedestal acoperit cu SiC

Piedestal acoperit cu SiC

Vetek Semiconductor este profesionist în fabricarea de acoperire CVD SiC, acoperire TaC pe grafit și material din carbură de siliciu. Oferim produse OEM și ODM, cum ar fi piedestal acoperit cu SiC, suport pentru napolitane, mandrina pentru napolitană, tavă de transport pentru napolitane, disc planetar și așa mai departe. Cu camera curată și dispozitiv de purificare de calitate 1000, vă putem oferi produse cu impurități sub 5 ppm. Așteptăm cu nerăbdare să auzim de la tine în curând.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Inel de intrare pentru acoperire SiC

Inel de intrare pentru acoperire SiC

Vetek Semiconductor excelează în colaborarea strânsă cu clienții pentru a crea modele la comandă pentru inelul de intrare a acoperirii SiC, adaptate nevoilor specifice. Aceste inel de intrare pentru acoperire SiC sunt proiectate meticulos pentru diverse aplicații, cum ar fi echipamente CVD SiC și epitaxie cu carbură de siliciu. Pentru soluții personalizate de inel de intrare pentru acoperire SiC, nu ezitați să contactați Vetek Semiconductor pentru asistență personalizată.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Inel de suport acoperit cu SiC

Inel de suport acoperit cu SiC

VeTek Semiconductor este un producător și furnizor profesionist din China, care produce în principal inele de suport acoperite cu SiC, acoperiri cu carbură de siliciu CVD (SiC), acoperiri cu carbură de tantal (TaC), SiC în vrac, pulberi SiC și materiale SiC de înaltă puritate. Ne angajăm să oferim suport tehnic perfect și soluții de produs de ultimă generație pentru industria semiconductoarelor, bine ați venit să ne contactați.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Wafer Chuck

Wafer Chuck

Mandrina pentru wafer de la Vetek Semiconductor joacă un rol esențial în producția de semiconductori, permițând rezultate rapide și de înaltă calitate. Cu producție internă, prețuri competitive și suport robust pentru cercetare și dezvoltare, Vetek Semiconductor excelează în servicii OEM/ODM pentru componente de precizie. Așteptăm cu nerăbdare întrebarea dvs.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Susceptor planetar ALD

Susceptor planetar ALD

Procesul ALD, înseamnă proces de epitaxie a stratului atomic. Vetek Semiconductor și producătorii de sisteme ALD au dezvoltat și produs susceptori planetari ALD acoperiți cu SiC care îndeplinesc cerințele înalte ale procesului ALD pentru a distribui uniform fluxul de aer pe substrat. În același timp, acoperirea CVD SiC de înaltă puritate a Vetek Semiconductor asigură puritatea procesului. Bine ați venit să discutați despre cooperarea cu noi.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Susceptor de acoperire SiC

Susceptor de acoperire SiC

Vetek Semiconductor se concentrează pe cercetarea, dezvoltarea și industrializarea acoperirii CVD SiC și a acoperirii CVD TaC. Luând ca exemplu susceptorul de acoperire SiC, produsul este procesat înalt cu o înaltă precizie, acoperire CVD SIC densă, rezistență la temperaturi ridicate și rezistență puternică la coroziune. O anchetă asupra noastră este binevenită.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
<...34567...11>
În calitate de producător și furnizor profesionist Acoperire cu carbură de siliciu în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a satisface nevoile specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați Acoperire cu carbură de siliciu avansat și durabil fabricat în China, ne puteți lăsa un mesaj.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept