Acasă > Produse > Acoperire cu carbură de siliciu

China Acoperire cu carbură de siliciu Producător, Furnizor, Fabrică

VeTek Semiconductor este specializată în producția de produse de acoperire cu carbură de siliciu ultra pure, aceste acoperiri sunt concepute pentru a fi aplicate pe grafit purificat, ceramică și componente metalice refractare.

Acoperirile noastre de înaltă puritate sunt destinate în primul rând utilizării în industriile semiconductoare și electronice. Acestea servesc ca un strat de protecție pentru purtătorii de plachete, susceptori și elemente de încălzire, protejându-le de mediile corozive și reactive întâlnite în procese precum MOCVD și EPI. Aceste procese sunt parte integrantă a procesării plachetelor și a fabricării dispozitivelor. În plus, acoperirile noastre sunt potrivite pentru aplicații în cuptoare cu vid și încălzire a probelor, unde se întâlnesc medii de vid înalt, reactive și oxigen.

La VeTek Semiconductor, oferim o soluție cuprinzătoare cu capabilitățile noastre avansate de atelier de mașini. Acest lucru ne permite să fabricăm componentele de bază folosind grafit, ceramică sau metale refractare și să aplicăm acoperirile ceramice SiC sau TaC în interior. Oferim, de asemenea, servicii de acoperire pentru piesele furnizate de client, asigurând flexibilitate pentru a răspunde nevoilor diverse.

Produsele noastre de acoperire cu carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în epitaxie Si, epitaxie SiC, sistem MOCVD, proces RTP/RTA, proces de gravare, proces de gravare ICP/PSS, proces de diferite tipuri de LED, inclusiv LED albastru și verde, LED UV și UV adânc LED etc., care este adaptat echipamentelor de la LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI și așa mai departe.


Piese de reactor pe care le putem face:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Acoperirea cu carbură de siliciu mai multe avantaje unice:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Parametru de acoperire cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor:

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC
Proprietate Valoare tipică
Structura de cristal FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111).
Densitate 3,21 g/cm³
Duritate Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g)
Dimensiunea boabelor 2~10μm
Puritatea chimică 99,99995%
Capacitate termică 640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimare 2700℃
Rezistența la încovoiere 415 MPa RT în 4 puncte
Modulul Young 430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
Conductivitate termică 300W·m-1·K-1
Expansiune termică (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Suport pentru napolitană cu acoperire SiC

Suport pentru napolitană cu acoperire SiC

În calitate de producător și furnizor profesionist de napolitane de acoperire SiC în China, purtătorii de napolitane de acoperire SiC de la Vetek Semiconductor sunt utilizați în principal pentru a îmbunătăți uniformitatea creșterii stratului epitaxial, asigurând stabilitatea și integritatea acestora în medii cu temperaturi ridicate și corozive. Aștept cu nerăbdare întrebarea dvs.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Receptor ALD

Receptor ALD

VeTek Semiconductor este un producător profesionist de susceptor ALD, acoperire CVD SiC, bază de grafit CVD TAC COATING în China. Vetek Semiconductor a dezvoltat și produs în comun baze planetare ALD acoperite cu SiC cu producătorii de sisteme ALD pentru a îndeplini cerințele înalte ale procesului ALD și pentru a distribui uniform fluxul de aer pe substrat. Așteptăm cu nerăbdare să cooperăm în continuare cu dvs.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Plafon acoperit cu CVD SiC

Plafon acoperit cu CVD SiC

În calitate de producător și furnizor profesionist de tavan acoperit cu CVD SiC în China, plafonul acoperit cu CVD SiC al VeTek Semiconductor are proprietăți excelente, cum ar fi rezistența la temperatură ridicată, rezistența la coroziune, duritatea ridicată și coeficientul de dilatare termică scăzut, făcându-l o alegere ideală de material în fabricarea semiconductorilor. Așteptăm cu nerăbdare să cooperăm în continuare cu dvs.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
MOCVD LED Epi Susceptor

MOCVD LED Epi Susceptor

VeTek Semiconductor este un producător profesionist de MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor în China. Susceptorul epitaxial MOCVD LED de la VeTek Semiconductor este proiectat pentru aplicații solicitante ale echipamentelor epitaxiale. Conductivitatea sa termică ridicată, stabilitatea chimică și durabilitatea sunt factori cheie pentru a asigura un proces de creștere epitaxială stabil și producție de film semiconductor de înaltă calitate. Așteptăm cu nerăbdare să cooperăm în continuare cu dvs.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Acoperire cu SiC susceptor ALD

Acoperire cu SiC susceptor ALD

În calitate de producător și furnizor profesionist de susceptor ALD de acoperire SiC în China, susceptorul ALD de acoperire SiC de la VeTek Semiconductor este o componentă de suport utilizată în mod special în procesul de depunere a stratului atomic (ALD). Joacă un rol cheie în echipamentul ALD, asigurând uniformitatea și precizia procesului de depunere. Credem că produsele noastre ALD Planetary Susceptor vă pot aduce soluții de înaltă calitate.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Receptor SiC Coating Epi

Receptor SiC Coating Epi

VeTek Semiconductor este un producător de frunte, inovator și lider de produse SiC Coating Epi Susceptor în China. De mulți ani, ne-am concentrat pe diferite produse de acoperire SiC, cum ar fi SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Wafer Carrier, SiC Coating Susceptor, SiC coating ALD susceptor, etc. VeTek Semiconductor se angajează să furnizeze tehnologie avansată și soluții de produs pentru semiconductor industrie. Bine ați venit consultația dvs. ulterioară.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
În calitate de producător și furnizor profesionist Acoperire cu carbură de siliciu în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a satisface nevoile specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați Acoperire cu carbură de siliciu avansat și durabil fabricat în China, ne puteți lăsa un mesaj.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept