Acasă > Produse > Acoperire cu carbură de siliciu

China Acoperire cu carbură de siliciu Producător, Furnizor, Fabrică

VeTek Semiconductor este specializată în producția de produse de acoperire cu carbură de siliciu ultra pure, aceste acoperiri sunt concepute pentru a fi aplicate pe grafit purificat, ceramică și componente metalice refractare.

Acoperirile noastre de înaltă puritate sunt destinate în primul rând utilizării în industriile semiconductoare și electronice. Acestea servesc ca un strat de protecție pentru purtătorii de plachete, susceptori și elemente de încălzire, protejându-le de mediile corozive și reactive întâlnite în procese precum MOCVD și EPI. Aceste procese sunt parte integrantă a procesării plachetelor și a fabricării dispozitivelor. În plus, acoperirile noastre sunt potrivite pentru aplicații în cuptoare cu vid și încălzire a probelor, unde se întâlnesc medii de vid înalt, reactive și oxigen.

La VeTek Semiconductor, oferim o soluție cuprinzătoare cu capabilitățile noastre avansate de atelier de mașini. Acest lucru ne permite să fabricăm componentele de bază folosind grafit, ceramică sau metale refractare și să aplicăm acoperirile ceramice SiC sau TaC în interior. Oferim, de asemenea, servicii de acoperire pentru piesele furnizate de client, asigurând flexibilitate pentru a răspunde nevoilor diverse.

Produsele noastre de acoperire cu carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în epitaxie Si, epitaxie SiC, sistem MOCVD, proces RTP/RTA, proces de gravare, proces de gravare ICP/PSS, proces de diferite tipuri de LED, inclusiv LED albastru și verde, LED UV și UV adânc LED etc., care este adaptat echipamentelor de la LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI și așa mai departe.


Piese de reactor pe care le putem face:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Acoperirea cu carbură de siliciu mai multe avantaje unice:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Parametru de acoperire cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor:

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC
Proprietate Valoare tipică
Structura de cristal FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111).
Densitate 3,21 g/cm³
Duritate Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g)
Dimensiunea boabelor 2~10μm
Puritatea chimică 99,99995%
Capacitate termică 640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimare 2700℃
Rezistența la încovoiere 415 MPa RT în 4 puncte
Modulul Young 430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
Conductivitate termică 300W·m-1·K-1
Expansiune termică (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Susceptor de butoi acoperit cu SiC CVD

Susceptor de butoi acoperit cu SiC CVD

VeTek Semiconductor este un producător de frunte și inovator de susceptor cu baril acoperit cu CVD SiC în China. Susceptorul nostru de butoi acoperit cu CVD SiC joacă un rol cheie în promovarea creșterii epitaxiale a materialelor semiconductoare pe plachete, cu caracteristicile sale excelente ale produsului. Bine ați venit la consultația dvs. ulterioară.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Susceptor de acoperire MOCVD SiC

Susceptor de acoperire MOCVD SiC

VeTek Semiconductor este un producător și furnizor de top de susceptori de acoperire MOCVD SiC în China, concentrându-se pe cercetarea și dezvoltarea și producția de produse de acoperire SiC de mulți ani. Susceptorii noștri de acoperire MOCVD SiC au o toleranță excelentă la temperatură ridicată, o conductivitate termică bună și un coeficient de dilatare termică scăzut, jucând un rol cheie în susținerea și încălzirea plachetelor de siliciu sau carbură de siliciu (SiC) și depunerea uniformă a gazului. Bine ați venit să vă consultați în continuare.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Piese de grafit semilună de acoperire SiC

Piese de grafit semilună de acoperire SiC

În calitate de producător și furnizor profesionist de semiconductori, VeTek Semiconductor poate furniza o varietate de componente de grafit necesare pentru sistemele de creștere epitaxiale SiC. Aceste părți din grafit semilună de acoperire SiC sunt proiectate pentru secțiunea de intrare a gazului din reactorul epitaxial și joacă un rol vital în optimizarea procesului de fabricație a semiconductorilor. VeTek Semiconductor se străduiește întotdeauna să ofere clienților produse de cea mai bună calitate la cele mai competitive prețuri. VeTek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să devină partenerul tău pe termen lung în China.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Încălzitor din grafit Hot Zone

Încălzitor din grafit Hot Zone

Încălzitorul din grafit VeTek Semiconductor Hot Zone este proiectat pentru a face față condițiilor extreme din cuptoarele de temperatură înaltă și pentru a menține performanța și stabilitatea excelente în procese complexe, cum ar fi depunerea chimică în vapori (CVD), creșterea epitaxială și recoacere la temperatură ridicată. VeTekSemi se concentrează întotdeauna pe producerea și furnizarea de încălzitoare din grafit Hot Zone de înaltă calitate pentru a asigura cea mai bună rentabilitate pentru clienți. Vă invităm sincer să ne contactați.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Încălzitor VEECO MOCVD

Încălzitor VEECO MOCVD

VeTek Semiconductor este un producător și furnizor de top de produse de încălzire VEECO MOCVD în China. Încălzitorul MOCVD are o puritate chimică excelentă, stabilitate termică și rezistență la coroziune. Este un produs indispensabil în procesul de depunere în vapori chimici organici metal (MOCVD). Bine ați venit la întrebările dvs. ulterioare.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Receptor VEECO MOCVD

Receptor VEECO MOCVD

În calitate de producător și furnizor principal de produse VEECO MOCVD Susceptor în China, MOCVD Susceptor de la VeTek Semiconductor reprezintă vârful inovației și excelenței inginerești, special personalizat pentru a satisface cerințele complexe ale proceselor contemporane de fabricare a semiconductorilor. Bun venit întrebările dvs. ulterioare.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
În calitate de producător și furnizor profesionist Acoperire cu carbură de siliciu în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a satisface nevoile specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați Acoperire cu carbură de siliciu avansat și durabil fabricat în China, ne puteți lăsa un mesaj.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept