VeTek Semiconductor este specializată în producția de produse de acoperire cu carbură de siliciu ultra pure, aceste acoperiri sunt concepute pentru a fi aplicate pe grafit purificat, ceramică și componente metalice refractare.
Acoperirile noastre de înaltă puritate sunt destinate în primul rând utilizării în industriile semiconductoare și electronice. Acestea servesc ca un strat de protecție pentru purtătorii de plachete, susceptori și elemente de încălzire, protejându-le de mediile corozive și reactive întâlnite în procese precum MOCVD și EPI. Aceste procese sunt parte integrantă a procesării plachetelor și a fabricării dispozitivelor. În plus, acoperirile noastre sunt potrivite pentru aplicații în cuptoare cu vid și încălzire a probelor, unde se întâlnesc medii de vid înalt, reactive și oxigen.
La VeTek Semiconductor, oferim o soluție cuprinzătoare cu capabilitățile noastre avansate de atelier de mașini. Acest lucru ne permite să fabricăm componentele de bază folosind grafit, ceramică sau metale refractare și să aplicăm acoperirile ceramice SiC sau TaC în interior. Oferim, de asemenea, servicii de acoperire pentru piesele furnizate de client, asigurând flexibilitate pentru a răspunde nevoilor diverse.
Produsele noastre de acoperire cu carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în epitaxie Si, epitaxie SiC, sistem MOCVD, proces RTP/RTA, proces de gravare, proces de gravare ICP/PSS, proces de diferite tipuri de LED, inclusiv LED albastru și verde, LED UV și UV adânc LED etc., care este adaptat echipamentelor de la LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI și așa mai departe.
Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC | |
Proprietate | Valoare tipică |
Structura de cristal | FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111). |
Densitate | 3,21 g/cm³ |
Duritate | Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g) |
Dimensiunea boabelor | 2~10μm |
Puritatea chimică | 99,99995% |
Capacitate termică | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura de sublimare | 2700℃ |
Rezistența la încovoiere | 415 MPa RT în 4 puncte |
Modulul Young | 430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃ |
Conductivitate termică | 300W·m-1·K-1 |
Expansiune termică (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
În calitate de producător și furnizor profesionist de napolitane de acoperire SiC în China, purtătorii de napolitane de acoperire SiC de la Vetek Semiconductor sunt utilizați în principal pentru a îmbunătăți uniformitatea creșterii stratului epitaxial, asigurând stabilitatea și integritatea acestora în medii cu temperaturi ridicate și corozive. Aștept cu nerăbdare întrebarea dvs.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător profesionist de susceptor ALD, acoperire CVD SiC, bază de grafit CVD TAC COATING în China. Vetek Semiconductor a dezvoltat și produs în comun baze planetare ALD acoperite cu SiC cu producătorii de sisteme ALD pentru a îndeplini cerințele înalte ale procesului ALD și pentru a distribui uniform fluxul de aer pe substrat. Așteptăm cu nerăbdare să cooperăm în continuare cu dvs.
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎn calitate de producător și furnizor profesionist de tavan acoperit cu CVD SiC în China, plafonul acoperit cu CVD SiC al VeTek Semiconductor are proprietăți excelente, cum ar fi rezistența la temperatură ridicată, rezistența la coroziune, duritatea ridicată și coeficientul de dilatare termică scăzut, făcându-l o alegere ideală de material în fabricarea semiconductorilor. Așteptăm cu nerăbdare să cooperăm în continuare cu dvs.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător profesionist de MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor în China. Susceptorul epitaxial MOCVD LED de la VeTek Semiconductor este proiectat pentru aplicații solicitante ale echipamentelor epitaxiale. Conductivitatea sa termică ridicată, stabilitatea chimică și durabilitatea sunt factori cheie pentru a asigura un proces de creștere epitaxială stabil și producție de film semiconductor de înaltă calitate. Așteptăm cu nerăbdare să cooperăm în continuare cu dvs.
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎn calitate de producător și furnizor profesionist de susceptor ALD de acoperire SiC în China, susceptorul ALD de acoperire SiC de la VeTek Semiconductor este o componentă de suport utilizată în mod special în procesul de depunere a stratului atomic (ALD). Joacă un rol cheie în echipamentul ALD, asigurând uniformitatea și precizia procesului de depunere. Credem că produsele noastre ALD Planetary Susceptor vă pot aduce soluții de înaltă calitate.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător de frunte, inovator și lider de produse SiC Coating Epi Susceptor în China. De mulți ani, ne-am concentrat pe diferite produse de acoperire SiC, cum ar fi SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Wafer Carrier, SiC Coating Susceptor, SiC coating ALD susceptor, etc. VeTek Semiconductor se angajează să furnizeze tehnologie avansată și soluții de produs pentru semiconductor industrie. Bine ați venit consultația dvs. ulterioară.
Citeşte mai multTrimite o anchetă