Cap de duș solid în formă de disc SiC

Rolul capului de duș în formă de disc Solid SiC în procesul CVD este de a distribui uniform gazul de reacție deasupra zonei de depunere, astfel încât gazul să poată fi difuzat uniform în tot reactorul pentru a obține o peliculă plată și uniformă.

Capul de duș din SiC solid este amplasat în partea de sus a cuptorului CVD sau în apropierea admisiei de gaz. Gazul de reacție intră în structura în formă de disc prin orificiile distribuite pe capul de duș și difuzează de-a lungul suprafeței capului de duș. Prin proiectarea cu canale multiple și orificiile de evacuare distribuite uniform, gazul de reacție poate curge uniform în întreaga zonă a reactorului, evitând concentrarea sau turbulențele și asigurând consistența grosimii stratului depus pe substrat.

În același timp, structura capului de duș în formă de disc semiconductor are, de asemenea, un efect de difuzie, care poate reduce eficient debitul de gaz, astfel încât să poată fi difuzat uniform la ieșirea duzei și să reducă impactul gazului local. modificări ale fluxului asupra efectului de depunere. Ajută la evitarea impactului direct al gazului asupra substratului și previne problema depunerii neuniforme.

Din perspectiva materialelor, capul de duș cu gaz Solid SiC este fabricat din material solid SiC rezistent la temperaturi ridicate, rezistent la coroziune și de înaltă rezistență, cu o stabilitate foarte ridicată. Poate funcționa stabil pentru o lungă perioadă de timp în cuptorul CVD și are o durată de viață lungă.

VeTek Semiconductoroferă servicii personalizate de înaltă calitate. Forma și aspectul găurilor capului de duș în formă de disc Solid SiC pot fi ajustate în mod flexibil în funcție de cerințele de proces ale clientului pentru a se adapta la diferite tipuri de gaz, debite și materiale de depunere. Pentru diferite dimensiuni de reactoare sau dimensiuni de substrat, capete de duș în formă de disc cu diferite diametre și distribuții ale orificiilor pot fi personalizate pentru a optimiza efectul de distribuție a gazului.

VeTek Semiconductorare procese mature și tehnologii avansate pentru produsele de duș Solid SiC Semiconductor, ajutând un număr mare de clienți să realizeze progrese continue în procesele CVD. VeTek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să devină partenerul tău pe termen lung în China.

Proprietățile fizice ale SiC solid

VeTek SemiconductorMagazin de producție pentru cap de duș în formă de disc din SiC solid