VeTek Semiconductor este specializată în producția de produse de acoperire cu carbură de siliciu ultra pure, aceste acoperiri sunt concepute pentru a fi aplicate pe grafit purificat, ceramică și componente metalice refractare.
Acoperirile noastre de înaltă puritate sunt destinate în primul rând utilizării în industriile semiconductoare și electronice. Acestea servesc ca un strat de protecție pentru purtătorii de plachete, susceptori și elemente de încălzire, protejându-le de mediile corozive și reactive întâlnite în procese precum MOCVD și EPI. Aceste procese sunt parte integrantă a procesării plachetelor și a fabricării dispozitivelor. În plus, acoperirile noastre sunt potrivite pentru aplicații în cuptoare cu vid și încălzire a probelor, unde se întâlnesc medii de vid înalt, reactive și oxigen.
La VeTek Semiconductor, oferim o soluție cuprinzătoare cu capabilitățile noastre avansate de atelier de mașini. Acest lucru ne permite să fabricăm componentele de bază folosind grafit, ceramică sau metale refractare și să aplicăm acoperirile ceramice SiC sau TaC în interior. Oferim, de asemenea, servicii de acoperire pentru piesele furnizate de client, asigurând flexibilitate pentru a răspunde nevoilor diverse.
Produsele noastre de acoperire cu carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în epitaxie Si, epitaxie SiC, sistem MOCVD, proces RTP/RTA, proces de gravare, proces de gravare ICP/PSS, proces de diferite tipuri de LED, inclusiv LED albastru și verde, LED UV și UV adânc LED etc., care este adaptat echipamentelor de la LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI și așa mai departe.
Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC | |
Proprietate | Valoare tipică |
Structura de cristal | FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111). |
Densitate | 3,21 g/cm³ |
Duritate | Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g) |
Dimensiunea boabelor | 2~10μm |
Puritatea chimică | 99,99995% |
Capacitate termică | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura de sublimare | 2700℃ |
Rezistența la încovoiere | 415 MPa RT în 4 puncte |
Modulul Young | 430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃ |
Conductivitate termică | 300W·m-1·K-1 |
Expansiune termică (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor este un producător profesionist de reactoare LPE Halfmoon SiC EPI Reactor, inovator și lider în China. LPE Halfmoon SiC EPI Reactor este un dispozitiv special conceput pentru producerea de straturi epitaxiale de carbură de siliciu (SiC) de înaltă calitate, utilizate în principal în industria semiconductoarelor. VeTek Semiconductor se angajează să furnizeze tehnologie de vârf și soluții de produse pentru industria semiconductoarelor și salută întrebările dumneavoastră ulterioare.
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎn calitate de producător și furnizor profesionist de susceptor Aixtron MOCVD în China, susceptorul Aixtron MOCVD de la Vetek Semiconductor este utilizat pe scară largă în procesul de depunere a filmului subțire al producției de semiconductori, implicând în special procesul MOCVD. Vetek Semiconductor se concentrează pe fabricarea și furnizarea de produse Aixtron MOCVD Susceptor de înaltă performanță. Bun venit întrebarea dvs.
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎn calitate de producător și furnizor profesionist de încălzire din grafit cu acoperire ceramică cu carbură de siliciu în China, încălzitorul cu acoperire ceramică cu carbură de siliciu este un încălzitor de înaltă performanță realizat din substrat de grafit și acoperit cu un strat de siliciu carbon ceramic (SiC) pe suprafața sa. Cu designul său din material compozit, acest produs oferă soluții excelente de încălzire în fabricarea semiconductoarelor. Bun venit întrebarea dvs.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător profesionist de încălzitoare cu acoperire ceramică cu carbură de siliciu din China. Încălzitorul cu acoperire ceramică cu carbură de siliciu este proiectat în principal pentru temperaturile ridicate și mediul dur al producției de semiconductori. Punctul său de topire ultra-înalt, rezistența excelentă la coroziune și conductivitatea termică remarcabilă determină indispensabilitatea acestui produs în procesul de producție a semiconductoarelor. Sperăm sincer să stabilim o relație de afaceri pe termen lung cu dvs.
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎn calitate de producător și furnizor profesionist de acoperire ceramică cu carbură de siliciu în China, acoperirea ceramică cu carbură de siliciu de la Vetek Semiconductor este utilizată pe scară largă pe componentele cheie ale echipamentelor de fabricare a semiconductoarelor, în special atunci când sunt implicate procesele CVD și PECVD. Bun venit întrebarea dvs.
Citeşte mai multTrimite o anchetăSusceptorul EPI al VeTek Semiconductor este proiectat pentru aplicațiile solicitante ale echipamentelor epitaxiale. Structura sa de grafit acoperită cu carbură de siliciu (SiC) de înaltă puritate oferă o rezistență excelentă la căldură, uniformitate termică uniformă pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epitaxial și rezistență chimică de lungă durată. Așteptăm cu nerăbdare să cooperăm cu dvs.
Citeşte mai multTrimite o anchetă