VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.
Principalele produse suntInel defect de acoperire cu carbură de tantal, inel de deviere acoperit cu TaC, piese semilună acoperite cu TaC, disc de rotație planetară acoperit cu carbură de tantal (Aixtron G10), creuzet acoperit cu TaC; Inele acoperite cu TaC; Grafit poros acoperit cu TaC; Susceptor de grafit de acoperire cu carbură de tantal; Inel de ghidare acoperit cu TaC; Placă acoperită cu carbură de tantalu TaC; Susceptor de napolitană acoperit cu TaC; Inel de acoperire TaC; Acoperire TaC din grafit; Bucătă acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.
Grafitul de acoperire TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:
Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.
●Stabilitatea temperaturii
●Puritate ultra înaltă
●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si
●Rezistenta la stoc termic
●Aderență puternică la grafit
●Acoperire de acoperire conformă
● Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)
● Susceptor de încălzire inductiv
● Element de încălzire rezistiv
● Scut termic
Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC | |
Densitate | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitate specifică | 0.3 |
Coeficientul de dilatare termică | 6.3 10-6/K |
Duritate (HK) | 2000 HK |
Rezistenţă | 1×10-5Ohm*cm |
Stabilitate termică | <2500℃ |
Dimensiunea grafitului se modifică | -10~-20um |
Grosimea acoperirii | ≥20um valoare tipică (35um±10um) |
Element | Procent atomic | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Medie | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor este un producător și inovator de top al încălzitorului de acoperire TaC în China. Acest produs are un punct de topire extrem de ridicat (aproximativ 3880°C). Punctul de topire ridicat al încălzitorului de acoperire cu TaC îi permite să funcționeze la temperaturi extrem de ridicate, în special în creșterea straturilor epitaxiale de nitrură de galiu (GaN) în procesul de depunere în vapori chimici organici metal (MOCVD). VeTek Semiconductor se angajează să furnizeze tehnologie avansată și soluții de produse pentru industria semiconductoarelor. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎn calitate de producător și furnizor profesionist de mandrină acoperită cu TaC în China, mandrina de acoperire TaC de la VeTek Semiconductor este proiectată special pentru cuptoare cu semiconductor. Cu rezistența la temperaturi ridicate, inerția chimică și performanța excelentă, tehnologia inovatoare a Vetek Semiconductor oferă o soluție de încredere pentru industria de fabricare a semiconductorilor pentru a asigura standarde de producție de înaltă calitate. Credem că produsele noastre vă pot aduce tehnologie avansată și soluții de produse de înaltă calitate.
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎn calitate de producător și furnizor profesionist de tuburi de acoperire TaC în China, tubul de acoperire TaC al VeTek Semiconductor este o componentă cheie pentru creșterea cu succes a monocristalelor de carbură de siliciu. Cu rezistența la temperaturi ridicate, inerția chimică și performanța excelentă, asigură producerea de cristale de înaltă calitate, cu rezultate consistente. Aveți încredere în soluțiile noastre inovatoare pentru a vă îmbunătăți procesul de creștere a cristalului SiC prin metoda PVT și pentru a obține rezultate excelente. Bine ați venit să ne întrebați.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător de frunte, inovator și lider de acoperire CVD TAC în China. De mulți ani, ne-am concentrat pe diverse produse de acoperire CVD TAC, cum ar fi capacul de acoperire CVD TaC, inelul de acoperire CVD TaC, suportul de acoperire CVD TaC etc. consultare.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător profesionist de plăci de acoperire TaC și alte piese de schimb pentru acoperire TaC în China. În prezent, acoperirea TaC este utilizată în principal în procese precum creșterea unui singur cristal cu carbură de siliciu (metoda PVT), disc epitaxial (inclusiv epitaxie cu carbură de siliciu, epitaxie LED), etc. Combinată cu stabilitatea bună pe termen lung a plăcii de acoperire TaC, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate a devenit reperul pentru piesele de schimb TaC Coating. Vă așteptăm cu nerăbdare să deveniți partenerul nostru pe termen lung.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător profesionist de GaN pe susceptor SiC epi, acoperire CVD SiC și susceptor de grafit CVD TAC COATING în China. Printre acestea, GaN pe susceptorul episcopic SiC joacă un rol vital în procesarea semiconductoarelor. Prin conductibilitatea termică excelentă, capacitatea de procesare la temperatură ridicată și stabilitatea chimică, asigură eficiența ridicată și calitatea materialului procesului de creștere epitaxială GaN. Așteptăm cu nerăbdare consultarea dumneavoastră ulterioară.
Citeşte mai multTrimite o anchetă