VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.
Principalele produse suntInel defect de acoperire cu carbură de tantal, inel de deviere acoperit cu TaC, piese semilună acoperite cu TaC, disc de rotație planetară acoperit cu carbură de tantal (Aixtron G10), creuzet acoperit cu TaC; Inele acoperite cu TaC; Grafit poros acoperit cu TaC; Susceptor de grafit de acoperire cu carbură de tantal; Inel de ghidare acoperit cu TaC; Placă acoperită cu carbură de tantalu TaC; Susceptor de napolitană acoperit cu TaC; Inel de acoperire TaC; Acoperire TaC din grafit; Bucătă acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.
Grafitul de acoperire TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:
Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.
●Stabilitatea temperaturii
●Puritate ultra înaltă
●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si
●Rezistenta la stoc termic
●Aderență puternică la grafit
●Acoperire de acoperire conformă
● Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)
● Susceptor de încălzire inductiv
● Element de încălzire rezistiv
● Scut termic
Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC | |
Densitate | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitate specifică | 0.3 |
Coeficientul de dilatare termică | 6.3 10-6/K |
Duritate (HK) | 2000 HK |
Rezistenţă | 1×10-5Ohm*cm |
Stabilitate termică | <2500℃ |
Dimensiunea grafitului se modifică | -10~-20um |
Grosimea acoperirii | ≥20um valoare tipică (35um±10um) |
Element | Procent atomic | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Medie | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Suportul de acoperire CVD TaC de la VeTek Semiconductor este proiectat în principal pentru procesul epitaxial de fabricare a semiconductorilor. Punctul de topire ultra-înalt al suportului de acoperire CVD TaC, rezistența excelentă la coroziune și stabilitatea termică remarcabilă determină indispensabilitatea acestui produs în procesul epitaxial semiconductor. Sperăm sincer să construim o relație de afaceri pe termen lung cu dumneavoastră.
Citeşte mai multTrimite o anchetăInelul de ghidare de acoperire TaC al VeTek Semiconductor este creat prin aplicarea acoperirii cu carbură de tantal pe piesele din grafit folosind o tehnică foarte avansată numită depunere chimică în vapori (CVD). Această metodă este bine stabilită și oferă proprietăți de acoperire excepționale. Prin utilizarea inelului de ghidare a acoperirii TaC, durata de viață a componentelor din grafit poate fi extinsă semnificativ, mișcarea impurităților din grafit poate fi suprimată și calitatea monocristalului SiC și AIN poate fi menținută în mod fiabil. Bine ați venit să ne întrebați.
Citeşte mai multTrimite o anchetăSusceptorul de grafit acoperit cu TaC de la VeTek Semiconductor utilizează metoda de depunere chimică în vapori (CVD) pentru a pregăti acoperirea cu carbură de tantal pe suprafața pieselor din grafit. Acest proces este cel mai matur și are cele mai bune proprietăți de acoperire. Susceptorul de grafit acoperit cu TaC poate prelungi durata de viață a componentelor din grafit, poate inhiba migrarea impurităților din grafit și poate asigura calitatea epitaxiei. VeTek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare întrebarea dvs.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor prezintă TaC Coating Susceptor, Cu acoperirea sa excepțională TaC, acest susceptor oferă o multitudine de avantaje care îl deosebesc de soluțiile convenționale. Integrându-se perfect în sistemele existente, TaC Coating Susceptor de la VeTek Semiconductor garantează compatibilitate și funcționare eficientă. Performanța sa fiabilă și acoperirea TaC de înaltă calitate oferă în mod constant rezultate excepționale în procesele de epitaxie SiC. Ne angajăm să oferim produse de calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să fim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăPlaca de rotație de acoperire TaC de la VeTek Semiconductor se mândrește cu o acoperire TaC remarcabilă, Cu acoperirea sa excepțională TaC, placa de rotație de acoperire TaC se mândrește cu o rezistență remarcabilă la temperaturi ridicate și o inerție chimică, care o diferențiază de soluțiile tradiționale. Ne angajăm să oferim produse de calitate la un nivel competitiv prețurile și așteptăm cu nerăbdare să fii partenerul tău pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăPlaca de acoperire TaC a VeTek Semiconductor este un produs remarcabil care oferă caracteristici și avantaje excepționale. Proiectată cu precizie și proiectată la perfecțiune, placa noastră de acoperire TaC este special adaptată pentru diverse aplicații în procesele de creștere a cristalului monocristal cu carbură de siliciu (SiC). Dimensiunile precise ale plăcii de acoperire TaC și construcția robustă o fac ușor de integrat în sistemele existente, asigurând o compatibilitate perfectă. și funcționare eficientă. Performanța sa fiabilă și acoperirea de înaltă calitate contribuie la rezultate consistente și uniforme în aplicațiile de creștere a cristalelor SiC. Ne angajăm să oferim produse de calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să fim partenerul dumneavoastră pe termen lu......
Citeşte mai multTrimite o anchetă