VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.
Principalele produse suntInel defect de acoperire cu carbură de tantal, inel de deviere acoperit cu TaC, piese semilună acoperite cu TaC, disc de rotație planetară acoperit cu carbură de tantal (Aixtron G10), creuzet acoperit cu TaC; Inele acoperite cu TaC; Grafit poros acoperit cu TaC; Susceptor de grafit de acoperire cu carbură de tantal; Inel de ghidare acoperit cu TaC; Placă acoperită cu carbură de tantalu TaC; Susceptor de napolitană acoperit cu TaC; Inel de acoperire TaC; Acoperire TaC din grafit; Bucătă acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.
Grafitul de acoperire TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:
Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.
●Stabilitatea temperaturii
●Puritate ultra înaltă
●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si
●Rezistenta la stoc termic
●Aderență puternică la grafit
●Acoperire de acoperire conformă
● Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)
● Susceptor de încălzire inductiv
● Element de încălzire rezistiv
● Scut termic
Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC | |
Densitate | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitate specifică | 0.3 |
Coeficientul de dilatare termică | 6.3 10-6/K |
Duritate (HK) | 2000 HK |
Rezistenţă | 1×10-5Ohm*cm |
Stabilitate termică | <2500℃ |
Dimensiunea grafitului se modifică | -10~-20um |
Grosimea acoperirii | ≥20um valoare tipică (35um±10um) |
Element | Procent atomic | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Medie | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
În calitate de producător și producător avansat de produse cu inele din carbură de tantal din China, VeTek Semiconductor Inelul din carbură de tantalu are o duritate extrem de ridicată, rezistență la uzură, rezistență la temperaturi ridicate și stabilitate chimică și este utilizat pe scară largă în domeniul producției de semiconductori. În special în CVD, PVD, procesul de implantare ionică, procesul de gravare și procesarea și transportul plachetelor, este un produs indispensabil pentru prelucrarea și fabricarea semiconductoarelor. Aștept cu nerăbdare consultația dvs. ulterioară.
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎn calitate de producător profesionist de produse și fabrică de suport pentru acoperire cu carbură de tantal din China, Suportul pentru acoperire cu carbură de tantal VeTek Semiconductor este de obicei utilizat pentru acoperirea suprafeței componentelor structurale sau a componentelor suport din echipamentele semiconductoare, în special pentru protecția suprafeței componentelor cheie ale echipamentelor în procesele de fabricație a semiconductoarelor, cum ar fi CVD și PVD. Bine ați venit consultația dvs. ulterioară.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător profesionist și lider de produse cu inel de ghidare cu carbură de tantalu în China. Inelul nostru de ghidare cu carbură de tantal (TaC) este un inel de înaltă performanță realizat din carbură de tantal, care este utilizat în mod obișnuit în echipamentele de procesare a semiconductoarelor, în special în medii cu temperatură înaltă și foarte corozive, cum ar fi CVD, PVD, gravare și difuzie. VeTek Semiconductor se angajează să furnizeze tehnologie avansată și soluții de produs pentru industria semiconductorilor și salută întrebările dumneavoastră ulterioare.
Citeşte mai multTrimite o anchetăCa producător profesionist, inovator și lider al produselor TaC Coating Rotation Susceptor în China. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor este de obicei instalat în echipamentele de depunere chimică în vapori (CVD) și epitaxie cu fascicul molecular (MBE) pentru a susține și roti plachetele pentru a asigura depunerea uniformă a materialului și o reacție eficientă. Este o componentă cheie în procesarea semiconductoarelor. Bine ați venit consultația dvs. ulterioară.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător profesionist și lider de produse CVD TaC Coating Crucible în China. Creuza de acoperire CVD TaC se bazează pe acoperire cu carbon de tantal (TaC). Învelișul de carbon de tantal este acoperit uniform pe suprafața creuzetului printr-un proces de depunere chimică în vapori (CVD) pentru a spori rezistența la căldură și rezistența la coroziune. Este un instrument de material utilizat special în medii extreme cu temperaturi ridicate. Bine ați venit consultația dvs. ulterioară.
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎn calitate de producător profesionist de produse CVD TaC Coating Wafer Carrier și fabrică din China, VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier este un instrument de transport al napolitanelor special conceput pentru medii de temperatură ridicată și corozive în producția de semiconductori. Acest produs are rezistență mecanică ridicată, rezistență excelentă la coroziune și stabilitate termică, oferind garanția necesară pentru fabricarea dispozitivelor semiconductoare de înaltă calitate. Întrebările dumneavoastră suplimentare sunt binevenite.
Citeşte mai multTrimite o anchetă