VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.
Principalele produse suntInel defect de acoperire cu carbură de tantal, inel de deviere acoperit cu TaC, piese semilună acoperite cu TaC, disc de rotație planetară acoperit cu carbură de tantal (Aixtron G10), creuzet acoperit cu TaC; Inele acoperite cu TaC; Grafit poros acoperit cu TaC; Susceptor de grafit de acoperire cu carbură de tantal; Inel de ghidare acoperit cu TaC; Placă acoperită cu carbură de tantalu TaC; Susceptor de napolitană acoperit cu TaC; Inel de acoperire TaC; Acoperire TaC din grafit; Bucătă acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.
Grafitul de acoperire TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:
Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.
●Stabilitatea temperaturii
●Puritate ultra înaltă
●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si
●Rezistenta la stoc termic
●Aderență puternică la grafit
●Acoperire de acoperire conformă
● Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)
● Susceptor de încălzire inductiv
● Element de încălzire rezistiv
● Scut termic
Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC | |
Densitate | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitate specifică | 0.3 |
Coeficientul de dilatare termică | 6.3 10-6/K |
Duritate (HK) | 2000 HK |
Rezistenţă | 1×10-5Ohm*cm |
Stabilitate termică | <2500℃ |
Dimensiunea grafitului se modifică | -10~-20um |
Grosimea acoperirii | ≥20um valoare tipică (35um±10um) |
Element | Procent atomic | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Medie | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Capacul de acoperire CVD TaC furnizat de VeTek Semiconductor este o componentă foarte specializată concepută special pentru aplicații solicitante. Cu caracteristicile sale avansate și performanța excepțională, capacul nostru de acoperire CVD TaC oferă mai multe avantaje cheie. Capacul nostru de acoperire CVD TaC oferă protecția și performanța necesară pentru succes. Așteptăm cu nerăbdare să explorăm potențiala cooperare cu tine!
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor este un produs excepțional pentru echipamentele de epitaxie Aixtron. Acoperirea robustă TaC oferă o rezistență excelentă la temperaturi ridicate și o inerție chimică. Această combinație unică asigură performanță fiabilă și durată lungă de viață, chiar și în medii solicitante. VeTek se angajează să furnizeze produse de înaltă calitate și să servească ca partener pe termen lung pe piața chineză cu prețuri competitive.
Citeşte mai multTrimite o anchetăPlaca de suport pentru piedestal de acoperire TaC de la VeTek Semiconductor este un produs de înaltă precizie conceput pentru a îndeplini cerințele specifice proceselor de epitaxie cu semiconductor. Cu învelișul său TaC, rezistența la temperaturi ridicate și inerția chimică, produsul nostru vă dă putere să produceți straturi EPI de înaltă calitate și de înaltă calitate. Ne angajăm să oferim produse de calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să fim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăMandrina de acoperire TaC de la VeTek Semiconductor are o acoperire TaC de înaltă calitate, cunoscută pentru rezistența remarcabilă la temperaturi înalte și inerția chimică, în special în procesele de epitaxie (EPI) cu carbură de siliciu (SiC). Cu caracteristicile sale excepționale și performanța superioară, mandrina noastră de acoperire TaC oferă mai multe avantaje cheie. Ne angajăm să oferim produse de calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să fim partenerul tău pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăInelul de acoperire CVD TaC al VeTek Semiconductor este o componentă extrem de avantajoasă concepută pentru a satisface cerințele exigente ale proceselor de creștere a cristalelor cu carbură de siliciu (SiC). Inelul de acoperire CVD TaC oferă o rezistență remarcabilă la temperaturi înalte și o inerție chimică, făcându-l o alegere ideală pentru mediile caracterizate de temperaturi ridicate și condiții corozive. Ne angajăm să oferim produse de calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să fim partenerul tău pe termen lung. in China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăLPE SiC Epi Halfmoon de la VeTek Semiconductor, un produs revoluționar conceput pentru a ridica procesele de epitaxie SiC din reactorul LPE. Această soluție de ultimă oră se mândrește cu mai multe caracteristici cheie care asigură performanță și eficiență superioară pe parcursul operațiunilor dumneavoastră de producție. Așteptăm cu nerăbdare să stabilim o cooperare pe termen lung cu dumneavoastră.
Citeşte mai multTrimite o anchetă