Acoperire CVD TAC

Acoperirea CVD TaC (acoperirea cu carbură de tantal cu depunere chimică în vapori) este un produs de acoperire compus în principal din carbură de tantal (TaC). Acoperirea TaC are o duritate extrem de ridicată, rezistență la uzură și rezistență la temperaturi ridicate, ceea ce o face o alegere ideală pentru protejarea componentelor cheie ale echipamentelor și pentru îmbunătățirea fiabilității procesului. Este un material indispensabil în prelucrarea semiconductoarelor.

Produsele de acoperire CVD TaC sunt de obicei utilizate în camere de reacție, purtători de plachete și echipamente de gravare și joacă următoarele roluri cheie în acestea.

Acoperirea CVD TaC este adesea folosită pentru componentele interne ale camerelor de reacție, cum ar fi substraturi, panouri de perete și elemente de încălzire. În combinație cu rezistența excelentă la temperaturi ridicate, poate rezista eficient la eroziunea temperaturii înalte, a gazelor corozive și a plasmei, prelungind astfel în mod eficient durata de viață a echipamentului și asigurând stabilitatea procesului și puritatea producției de produs.

În plus, suporturile de napolitană acoperite cu TaC (cum ar fi bărci de cuarț, dispozitive de fixare etc.) au, de asemenea, rezistență excelentă la căldură și rezistență la coroziune chimică. Purtătorul de plachetă poate oferi suport fiabil pentru napolitană la temperaturi ridicate, poate preveni contaminarea și deformarea plachetei și, astfel, poate îmbunătăți randamentul general de cip.

Mai mult decât atât, acoperirea TaC a VeTek Semiconductor este, de asemenea, utilizată pe scară largă în diferite echipamente de gravare și depunere a filmului subțire, cum ar fi gravoare cu plasmă, sisteme chimice de depunere în vapori etc. În aceste sisteme de procesare, acoperirea CVD TAC poate rezista la bombardarea ionică de înaltă energie și la reacții chimice puternice. , asigurând astfel acuratețea și repetabilitatea procesului.

Oricare ar fi cerințele dvs. specifice, vom potrivi cea mai bună soluție pentru nevoile dvs. de acoperire CVD TAC și așteptăm cu nerăbdare consultarea dumneavoastră în orice moment.

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD TAC:

Magazine de produse de acoperire VeTek Semiconductor CVD TAC:

Prezentare generală a lanțului industriei de epitaxie a cipurilor semiconductoare: