VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.
Principalele produse suntInel de ghidare acoperit cu TaC, Inel de ghidare cu trei petale acoperit cu CVD TaC, Carbură de tantal TaC acoperit Halfmoon, CVD TaC acoperire susceptor epitaxial planetar SiC, Inel de acoperire cu carbură de tantal, Grafit poros acoperit cu carbură de tantal, Susceptor de rotație a acoperirii TaC, Inel din carbură de tantal, Placă de rotație a acoperirii TaC, Susceptor de plachetă acoperit cu TaC, Inel deflector acoperit cu TaC, Capac de acoperire CVD TaC, Mandrină acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.
Grafitul de acoperire cu TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:
Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.
●Stabilitatea temperaturii
●Puritate ultra înaltă
●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si
●Rezistenta la stoc termic
●Aderență puternică la grafit
●Acoperire de acoperire conformă
● Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)
● Susceptor de încălzire inductiv
● Element de încălzire rezistiv
● Scut termic
Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC | |
Densitate | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitate specifică | 0.3 |
Coeficientul de dilatare termică | 6.3 10-6/K |
Duritate (HK) | 2000 HK |
Rezistenţă | 1×10-5Ohm*cm |
Stabilitate termică | <2500℃ |
Dimensiunea grafitului se modifică | -10~-20um |
Grosimea acoperirii | ≥20um valoare tipică (35um±10um) |
Element | Procent atomic | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Medie | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Inelul de ghidare acoperit cu TaC este fabricat din grafit de înaltă calitate și acoperire cu TaC. La prepararea cristalelor de SiC prin metoda PVT, inelul de ghidare acoperit cu TaC al VeTek Semiconductor este utilizat în principal pentru a ghida și controla fluxul de aer, pentru a optimiza procesul de creștere a unui singur cristal și pentru a îmbunătăți randamentul unui singur cristal. Cu o tehnologie excelentă de acoperire TaC, produsele noastre au o rezistență excelentă la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune și proprietăți mecanice bune. Vă salutăm sincer consultația și așteptăm cu nerăbdare să vă oferim informații mai detaliate despre produse și asistență tehnică.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător și furnizor de top de disc de rotație planetară acoperit cu carbură de tantal în China, concentrându-se pe tehnologia de acoperire TaC de mulți ani. Produsele noastre au puritate ridicată și rezistență excelentă la temperaturi ridicate, care sunt recunoscute pe scară largă de producătorii de semiconductori. Discul de rotație planetară acoperit cu carbură de tantal VeTek Semiconductor a devenit coloana vertebrală a industriei de epitaxie a plachetelor. Așteptăm cu nerăbdare să stabilim un parteneriat pe termen lung cu dvs. pentru a promova împreună progresul tehnologic și optimizarea producției.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor a proiectat cu atenție suportul pentru napolitane de grafit acoperit cu TaC pentru clienți. Este compus din grafit de înaltă puritate și acoperire TaC, care este potrivită pentru diferite procesări de napolitane epitaxiale. De mulți ani suntem specializați în acoperirea cu SiC și TaC. În comparație cu acoperirea SiC, suportul nostru de napolitană de grafit acoperit cu TaC are o rezistență mai mare la temperatură și rezistent la uzură. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetă