Placă de suport pentru piedestal de acoperire TaC

VeTek Semiconductor este producător și furnizor din China, care produce în principal susceptori de acoperire CVD TaC, inel de admisie, Wafer Chunck, suport acoperit cu TaC, placă de suport pentru piedestal de acoperire TaC cu mulți ani de experiență. Sper să construim relații de afaceri cu tine.

Ceramica TaC are un punct de topire de până la 3880℃, duritate mare (duritate Mohs 9 ~ 10), conductivitate termică mare (22W·m-1·K-1), rezistență mare la încovoiere (340 ~ 400MPa) și dilatare termică mică coeficient (6,6×10−6K−1) și prezintă o stabilitate termochimică excelentă și proprietăți fizice excelente. Are o bună compatibilitate chimică și mecanică cu grafit și materiale compozite C/C, astfel încât acoperirea TaC este utilizată pe scară largă în protecția termică aerospațială, creșterea monocristalului și reactoarele epitaxiale precum Aixtron, reactorul LPE EPI în industria semiconductoarelor. Grafitul acoperit cu TaC are o rezistență mai bună la coroziune chimică decât cerneala de piatră goală sau grafitul acoperit cu SiC, poate fi utilizat stabil la 2200 ° temperatură ridicată, nu reacționează cu multe elemente metalice, este a treia generație de creștere a unui singur cristal semiconductor, epitaxie și scena de gravare a plachetei de cea mai bună performanță de acoperire, poate îmbunătăți în mod semnificativ procesul de control al temperaturii și al impurităților, Pregătirea de plachete de carbură de siliciu de înaltă calitate și napolitane epitaxiale aferente. Este potrivit în special pentru creșterea monocristalului GaN sau AlN în echipamentele MOCVD și a monocristalului SiC în echipamentele PVT, iar calitatea monocristalului crescut este evident îmbunătățită.

Acoperire TaC și acoperire SiC Piese de schimb pe care le putem realiza:

Parametrul acoperirii TaC:

Lanț industrial:

Magazin de producție