Placă de acoperire TaC

Placa de acoperire TaC a VeTek Semiconductor este un produs remarcabil care oferă caracteristici și avantaje excepționale. Proiectată cu precizie și proiectată la perfecțiune, placa noastră de acoperire TaC este special adaptată pentru diverse aplicații în procesele de creștere a cristalului monocristal cu carbură de siliciu (SiC). Dimensiunile precise ale plăcii de acoperire TaC și construcția robustă o fac ușor de integrat în sistemele existente, asigurând o compatibilitate perfectă. și funcționare eficientă. Performanța sa fiabilă și acoperirea de înaltă calitate contribuie la rezultate consistente și uniforme în aplicațiile de creștere a cristalelor SiC. Ne angajăm să oferim produse de calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să fim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Puteți fi siguri că cumpărați placa de acoperire TaC din fabrica noastră. Placa noastră de acoperire TaC funcționează ca o parte cheie a reactorului de epitaxie cu semiconductor, care ajută la randamentul excelent al stratului epitaxial și eficiența creșterii. Îmbunătățiți calitatea produsului.

Pentru producerea de noi semiconductori cu medii de preparare din ce în ce mai dure, cum ar fi pregătirea celui de-al treilea grup principal de foi epitaxiale de nitrură (GaN) prin depunere de vapori chimici metalo-organici (MOCVD) și prepararea filmelor de creștere epitaxiale SiC prin vapori chimici depunerea (CVD) sunt erodate de gaze precum H2 și NH3 în medii cu temperatură ridicată. Straturile protectoare de SiC și BN de pe suprafața purtătorilor de creștere sau a canalelor de gaze existente pot eșua din cauza implicării lor în reacții chimice, care afectează negativ calitatea produselor precum cristalele și semiconductorii. Prin urmare, este necesar să se găsească un material cu stabilitate chimică mai bună și rezistență la coroziune ca strat protector pentru a îmbunătăți calitatea cristalelor, semiconductorilor și a altor produse. Carbura de tantal are proprietăți fizice și chimice excelente, datorită rolului legăturilor chimice puternice, stabilitatea chimică la temperatură ridicată și rezistența la coroziune este mult mai mare decât SiC, BN, etc., este o mare perspectivă de aplicare a rezistenței la coroziune, a acoperirii remarcabile cu stabilitate termică. .

VeTek Semiconductor are echipamente avansate de producție și sistem de management al calității perfect, control strict al procesului pentru a asigura acoperirea TaC în loturi de consistență de performanță, compania are o capacitate de producție la scară largă, pentru a satisface nevoile clienților în cantități mari de aprovizionare, monitorizarea perfectă a calității mecanism pentru a asigura calitatea fiecărui produs stabilă și fiabilă.

Parametrul de produs al plăcii de acoperire TaC:

Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC
Densitate	14,3 (g/cm³)
Emisivitate specifică	0.3
Coeficientul de dilatare termică	6,3 10-6/K
Duritate (HK)	2000 HK
Rezistenţă	1×10-5 Ohm*cm
Stabilitate termică	<2500℃
Dimensiunea grafitului se modifică	-10~-20um
Grosimea acoperirii	≥20um valoare tipică (35um±10um)