VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.
Principalele produse suntInel defect de acoperire cu carbură de tantal, inel de deviere acoperit cu TaC, piese semilună acoperite cu TaC, disc de rotație planetară acoperit cu carbură de tantal (Aixtron G10), creuzet acoperit cu TaC; Inele acoperite cu TaC; Grafit poros acoperit cu TaC; Susceptor de grafit de acoperire cu carbură de tantal; Inel de ghidare acoperit cu TaC; Placă acoperită cu carbură de tantalu TaC; Susceptor de napolitană acoperit cu TaC; Inel de acoperire TaC; Acoperire TaC din grafit; Bucătă acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.
Grafitul de acoperire TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:
Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.
●Stabilitatea temperaturii
●Puritate ultra înaltă
●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si
●Rezistenta la stoc termic
●Aderență puternică la grafit
●Acoperire de acoperire conformă
● Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)
● Susceptor de încălzire inductiv
● Element de încălzire rezistiv
● Scut termic
Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC | |
Densitate | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitate specifică | 0.3 |
Coeficientul de dilatare termică | 6.3 10-6/K |
Duritate (HK) | 2000 HK |
Rezistenţă | 1×10-5Ohm*cm |
Stabilitate termică | <2500℃ |
Dimensiunea grafitului se modifică | -10~-20um |
Grosimea acoperirii | ≥20um valoare tipică (35um±10um) |
Element | Procent atomic | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Medie | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Grafitul poros cu TaC Coated este un material avansat de procesare a semiconductoarelor furnizat de VeTek Semiconductor. Grafitul poros cu acoperire cu TaC combină avantajele acoperirii cu grafit poros și carbură de tantal (TaC), cu o bună conductivitate termică și permeabilitate la gaz. VeTek Semiconductor se angajează să ofere produse de calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să fim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător de frunte și inovator de acoperire de acoperire cu carbură de tantal în China. Ne concentrăm pe furnizarea de produse din carbură de tantal de înaltă puritate, rezistente la temperaturi înalte. Capacul nostru acoperit cu carbură de tantal are performanțe și fiabilitate excelente și poate proteja eficient materialele în medii extrem de ridicate de temperatură și corozive. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăInelul deflector acoperit cu TaC de la VeTek Semiconductor este o componentă foarte specializată concepută pentru procesele de creștere a cristalelor de SiC. Acoperirea TaC oferă o rezistență excelentă la temperaturi ridicate și o inerție chimică pentru a face față temperaturilor ridicate și mediilor corozive în timpul procesului de creștere a cristalelor. Acest lucru asigură o performanță stabilă și o durată lungă de viață a componentei, reducând frecvența înlocuirii și timpul de nefuncționare. Ne angajăm să oferim produse de calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să fim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător și inovator de tuburi acoperite cu carbură de tantal pentru creșterea cristalului în China. Suntem specializați în acoperire ceramică de mulți ani. Produsele noastre au o puritate ridicată și rezistență la temperaturi ridicate. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dvs. pe termen lung. în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un inel acoperit cu TaC la scară largă pentru producător și inovator de reactoare epitaxiale SiC în China. Suntem specializați în acoperirea cu TaC de mulți ani. Produsele noastre au puritate ridicată, stabilitate ridicată, rezistență excelentă la coroziune, rezistență ridicată a legăturii. nerăbdător să devin partenerul tău pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este o piesă semilună acoperită cu carbură de tantal la scară largă pentru producătorul și inovatorul LPE din China. Suntem specializați în acoperirea TaC de mulți ani. Produsele noastre pot rezista la temperaturi de peste 2000 de grade Celsius, prelungind durata de viață a consumabilelor. Așteptăm cu nerăbdare pentru a deveni partenerul tău pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetă