VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.
Principalele produse suntInel defect de acoperire cu carbură de tantal, inel de deviere acoperit cu TaC, piese semilună acoperite cu TaC, disc de rotație planetară acoperit cu carbură de tantal (Aixtron G10), creuzet acoperit cu TaC; Inele acoperite cu TaC; Grafit poros acoperit cu TaC; Susceptor de grafit de acoperire cu carbură de tantal; Inel de ghidare acoperit cu TaC; Placă acoperită cu carbură de tantalu TaC; Susceptor de napolitană acoperit cu TaC; Inel de acoperire TaC; Acoperire TaC din grafit; Bucătă acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.
Grafitul de acoperire TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:
Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.
●Stabilitatea temperaturii
●Puritate ultra înaltă
●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si
●Rezistenta la stoc termic
●Aderență puternică la grafit
●Acoperire de acoperire conformă
● Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)
● Susceptor de încălzire inductiv
● Element de încălzire rezistiv
● Scut termic
Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC | |
Densitate | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitate specifică | 0.3 |
Coeficientul de dilatare termică | 6.3 10-6/K |
Duritate (HK) | 2000 HK |
Rezistenţă | 1×10-5Ohm*cm |
Stabilitate termică | <2500℃ |
Dimensiunea grafitului se modifică | -10~-20um |
Grosimea acoperirii | ≥20um valoare tipică (35um±10um) |
Element | Procent atomic | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Medie | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor este un producător și inovator de inele cu trei petale acoperite cu TaC în China. Suntem specializați în acoperirea TaC și SiC de mulți ani. Produsele noastre au o rezistență la coroziune, o rezistență ridicată. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător și inovator principal de mandrine acoperite cu carbură de tantal în China. Suntem specializați în acoperirea TaC de mulți ani. Produsele noastre au o puritate ridicată și rezistență la temperaturi ridicate de până la 2000 ℃. Așteptăm cu nerăbdare să devenim pe termen lung. partener în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător și inovator de acoperire acoperită cu carbură de tantal în China. Suntem specializați în acoperire TaC și SiC de mulți ani. Produsele noastre au o rezistență la coroziune, rezistență ridicată. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un furnizor principal de semilună inferioară de grafit ultra pur personalizat în China, specializat în materiale avansate de mulți ani. Semilună inferioară din grafit ultra pur este conceput special pentru echipamentele epitaxiale SiC, asigurând performanțe excelente. Fabricat din grafit importat ultra-pur, oferă fiabilitate și durabilitate. Vizitați fabrica noastră din China pentru a explora în mod direct semilună inferioară de grafit ultra pur de înaltă calitate.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un furnizor principal de piese de semilună superioare personalizate acoperite cu SiC în China, specializat în materiale avansate de peste 20 de ani. VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part acoperit cu SiC este proiectat special pentru echipamentele epitaxiale SiC, servind ca o componentă crucială în camera de reacție. Fabricat din grafit ultra-pur, de calitate semiconductoare, asigură performanțe excelente. Vă invităm să vizitați fabrica noastră din China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un furnizor de lider personalizat de purtător de placă epitaxială cu carbură de siliciu în China. Suntem specializați în materiale avansate de peste 20 de ani. Oferim un purtător pentru napolitană cu epitaxie cu carbură de siliciu pentru transportul substratului SiC, creșterea stratului de epitaxie SiC în reactorul epitaxial SiC. Acest suport de napolitană cu epitaxie cu carbură de siliciu este o parte importantă acoperită cu SiC a părții semilună, rezistență la temperaturi ridicate, rezistență la oxidare, rezistență la uzură. Vă așteptăm să vizitați fabrica noastră din China.
Citeşte mai multTrimite o anchetă