Receptor ALD

VeTek Semiconductor este un producător profesionist de susceptor ALD, acoperire CVD SiC, bază de grafit CVD TAC COATING în China. Vetek Semiconductor a dezvoltat și produs în comun baze planetare ALD acoperite cu SiC cu producătorii de sisteme ALD pentru a îndeplini cerințele înalte ale procesului ALD și pentru a distribui uniform fluxul de aer pe substrat. Așteptăm cu nerăbdare să cooperăm în continuare cu dvs.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Ca profesionistReceptor ALDproducător din China, produsul nostruReceptor ALDControlul precis al temperaturii, distribuția uniformă a gazului și conductivitate termică excelentă și alte caracteristici ale produsului determină acest lucruReceptor ALDjoacă un rol crucial în procesul de depunere a stratului atomic (ALD). Rol important, bine ați venit consultația dvs.

Depunere uniformă de peliculă subțire:ALD Susceptor asigură depunerea uniformă a straturilor atomice pe întreaga suprafață a plachetei în timpul procesului de depunere a stratului atomic (ALD). Designul său rotativ unic permite gazelor și reactanților să intre în contact uniform cu suprafața plachetei, rezultând o grosime uniformă a filmului. Acest lucru este esențial pentru producția de semiconductori de înaltă precizie.

Îmbunătățiți calitatea depunerilor: Prin optimizarea controlului temperaturii și distribuției gazelor, ALD Susceptor îmbunătățește semnificativ calitatea și performanța filmului, reducând defectele și neuniformitatea. Acest lucru îl face ideal pentru fabricarea de semiconductori și dispozitive electronice de înaltă precizie, asigurând fiabilitatea și performanța produsului.

Suporta procesarea multi-plachete: Anumite modele ALD Susceptor permit procesarea simultană a mai multor napolitane, crescând eficiența producției. Acest lucru este deosebit de important pentru mediile de producție cu randament ridicat, capabile să răspundă nevoilor producției la scară largă.

Se potrivește cu diferite dimensiuni și tipuri de napolitaneSusceptorii :ALD sunt în general proiectați pentru o compatibilitate ridicată și pot suporta diferite dimensiuni și tipuri de napolitane. Acest lucru îl face eficient într-o varietate de procese de producție, oferind o mai mare flexibilitate și adaptabilitate.

Reduceți costurile de producție:Datorită distribuției sale eficiente a gazelor și capacităților uniforme de încălzire, Susceptor ALD crește eficiența procesului de depunere, reducând astfel risipa de material și costurile de producție. Acest lucru nu numai că ajută la îmbunătățirea eficienței producției, ci și reduce semnificativ costurile de producție.

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC: