VeTek Semiconductor este un producător și inovator de top din China. Suntem specializați în materiale SiC de mulți ani. Capul de duș SiC este ales ca material inel de focalizare datorită stabilității sale termochimice excelente, rezistenței mecanice ridicate și rezistenței la eroziunea cu plasmă. .Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Puteți fi sigur că cumpărați cap de duș SiC din fabrica noastră.
Materialele cu carbură de siliciu au o combinație unică de proprietăți termice, electrice și chimice excelente, făcându-le ideale pentru aplicațiile din industria semiconductoarelor unde sunt necesare materiale de înaltă performanță.
Tehnologia revoluționară a VeTek Semiconductor permite producerea capului de duș SiC, un material de carbură de siliciu de puritate ultra-înaltă creat prin procesul de depunere chimică în vapori.
Capul de duș SiC este o componentă crucială în fabricarea semiconductoarelor, proiectat special pentru sistemele MOCVD, epitaxie de siliciu și procese de epitaxie SiC. Fabricată din carbură solidă de siliciu (SiC), această componentă poate rezista la condițiile extreme de prelucrare cu plasmă și aplicații la temperaturi înalte.
Carbura de siliciu (SiC) este cunoscută pentru conductivitatea termică ridicată, rezistența la coroziune chimică și rezistența mecanică excepțională, făcându-l un material ideal pentru componentele SiC în vrac, cum ar fi capul de duș SiC. Capul de duș cu gaz asigură o distribuție uniformă a gazelor de proces pe suprafața plachetei, ceea ce este esențial pentru producerea de straturi epitaxiale de înaltă calitate. Inelele de focalizare și inelele de margine, adesea realizate din CVD-SiC, mențin distribuția uniformă a plasmei și protejează camera de contaminare, sporind eficiența și randamentul creșterii epitaxiale.
Cu controlul precis al fluxului de gaz și proprietățile remarcabile ale materialului, capul de duș SiC este o componentă cheie în procesarea semiconductoarelor moderne, susținând aplicații avansate în epitaxia cu siliciu și epitaxia SiC.
VeTek Semiconductor oferă un cap de duș cu semiconductor din carbură de siliciu sinterizat cu rezistivitate scăzută. Avem capacitatea de a personaliza și furniza materiale ceramice avansate utilizând o varietate de capabilități unice.
Proprietățile fizice ale SiC solid | |||
Densitate | 3.21 | g/cm3 | |
Rezistivitate electrică | 102 | Ω/cm | |
Rezistență la încovoiere | 590 | MPa | (6000kgf/cm2) |
Modulul lui Young | 450 | GPa | (6000kgf/mm2) |
Duritatea Vickers | 26 | GPa | (2650kgf/mm2) |
C.T.E.(RT-1000℃) | 4.0 | x10-6/K | |
Conductivitate termică (RT) | 250 | W/mK |