Acasă > Produse > Acoperire cu carbură de siliciu

China Acoperire cu carbură de siliciu Producător, Furnizor, Fabrică

VeTek Semiconductor este specializată în producția de produse de acoperire cu carbură de siliciu ultra pure, aceste acoperiri sunt concepute pentru a fi aplicate pe grafit purificat, ceramică și componente metalice refractare.

Acoperirile noastre de înaltă puritate sunt destinate în primul rând utilizării în industriile semiconductoare și electronice. Acestea servesc ca un strat de protecție pentru purtătorii de plachete, susceptori și elemente de încălzire, protejându-le de mediile corozive și reactive întâlnite în procese precum MOCVD și EPI. Aceste procese sunt parte integrantă a procesării plachetelor și a fabricării dispozitivelor. În plus, acoperirile noastre sunt potrivite pentru aplicații în cuptoare cu vid și încălzire a probelor, unde se întâlnesc medii de vid înalt, reactive și oxigen.

La VeTek Semiconductor, oferim o soluție cuprinzătoare cu capabilitățile noastre avansate de atelier de mașini. Acest lucru ne permite să fabricăm componentele de bază folosind grafit, ceramică sau metale refractare și să aplicăm acoperirile ceramice SiC sau TaC în interior. Oferim, de asemenea, servicii de acoperire pentru piesele furnizate de client, asigurând flexibilitate pentru a răspunde nevoilor diverse.

Produsele noastre de acoperire cu carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în epitaxie Si, epitaxie SiC, sistem MOCVD, proces RTP/RTA, proces de gravare, proces de gravare ICP/PSS, proces de diferite tipuri de LED, inclusiv LED albastru și verde, LED UV și UV adânc LED etc., care este adaptat echipamentelor de la LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI și așa mai departe.


Piese de reactor pe care le putem face:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Acoperirea cu carbură de siliciu mai multe avantaje unice:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Parametru de acoperire cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor:

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC
Proprietate Valoare tipică
Structura de cristal FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111).
Densitate 3,21 g/cm³
Duritate Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g)
Dimensiunea boabelor 2~10μm
Puritatea chimică 99,99995%
Capacitate termică 640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimare 2700℃
Rezistența la încovoiere 415 MPa RT în 4 puncte
Modulul Young 430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
Conductivitate termică 300W·m-1·K-1
Expansiune termică (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Inel de preîncălzire

Inel de preîncălzire

VeTek Semiconductor este un inovator al producătorului de acoperire SiC din China. Inelul de preîncălzire furnizat de VeTek Semiconductor este proiectat pentru procesul de epitaxie. Acoperirea uniformă din carbură de siliciu și materialul de grafit de ultimă generație ca materii prime asigură depunerea consistentă și îmbunătățesc calitatea și uniformitatea stratului epitaxial. Așteptăm cu nerăbdare să stabilim o cooperare pe termen lung cu dvs.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Pin de ridicare a napolitanelor

Pin de ridicare a napolitanelor

VeTek Semiconductor este un producător și inovator EPI Wafer Lift Pin în China. Suntem specializați în acoperirea SiC pe suprafața de grafit de mulți ani. Oferim un știft de ridicare EPI Wafer pentru procesul Epi. Cu înaltă calitate și preț competitiv, vă așteptăm să vizitați fabrica noastră din China.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Susceptor de butoi acoperit cu SiC

Susceptor de butoi acoperit cu SiC

VeTek Semiconductor oferă un set cuprinzător de soluții de componente pentru camerele de reacție epitaxie din siliciu LPE, oferind o durată de viață lungă, o calitate stabilă și un randament îmbunătățit al stratului epitaxial. Produsul nostru, cum ar fi SiC Coated Barrel Susceptor, a primit feedback de la clienți. De asemenea, oferim suport tehnic pentru Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy și multe altele. Nu ezitați să întrebați pentru informații despre preț.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Dacă receptorul EPI

Dacă receptorul EPI

VeTek Semiconductor este o fabrică care combină prelucrarea de precizie și capacitățile de acoperire SiC și TaC a semiconductorilor. Susceptorul Si Epi de tip butoi oferă capacități de control al temperaturii și atmosferei, sporind eficiența producției în procesele de creștere epitaxială a semiconductoarelor. Așteptăm cu nerăbdare să stabilim o relație de cooperare cu dumneavoastră.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Receptor Epi acoperit cu SiC

Receptor Epi acoperit cu SiC

În calitate de producător intern de top de acoperiri cu carbură de siliciu și carbură de tantal, VeTek Semiconductor este capabil să ofere prelucrare de precizie și acoperire uniformă a Susceptorului Epi acoperit cu SiC, controlând eficient puritatea acoperirii și a produsului sub 5 ppm. Durata de viață a produsului este comparabilă cu cea a SGL. Bine ați venit să ne întrebați.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
Set Receptor LPE SI EPI

Set Receptor LPE SI EPI

VeTek Semiconductor este un producător și inovator de seturi de susceptori LPE Si Epi în China. Suntem specializați în acoperire SiC și acoperire TaC de mulți ani. Oferim un set de susceptori LPE Si Epi conceput special pentru napolitanele LPE PE2061S 4''. Gradul de potrivire al materialului din grafit și al stratului de SiC este bun, uniformitatea este excelentă și durata de viață lungă, ceea ce poate îmbunătăți randamentul creșterii stratului epitaxial în timpul procesului LPE (Epitaxie în fază lichidă). Vă urăm bun venit să vizitați fabrica noastră în China.

Citeşte mai multTrimite o anchetă
În calitate de producător și furnizor profesionist Acoperire cu carbură de siliciu în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a satisface nevoile specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați Acoperire cu carbură de siliciu avansat și durabil fabricat în China, ne puteți lăsa un mesaj.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept