VeTek Semiconductor este specializată în producția de produse de acoperire cu carbură de siliciu ultra pure, aceste acoperiri sunt concepute pentru a fi aplicate pe grafit purificat, ceramică și componente metalice refractare.
Acoperirile noastre de înaltă puritate sunt destinate în primul rând utilizării în industriile semiconductoare și electronice. Acestea servesc ca un strat de protecție pentru purtătorii de plachete, susceptori și elemente de încălzire, protejându-le de mediile corozive și reactive întâlnite în procese precum MOCVD și EPI. Aceste procese sunt parte integrantă a procesării plachetelor și a fabricării dispozitivelor. În plus, acoperirile noastre sunt potrivite pentru aplicații în cuptoare cu vid și încălzire a probelor, unde se întâlnesc medii de vid înalt, reactive și oxigen.
La VeTek Semiconductor, oferim o soluție cuprinzătoare cu capabilitățile noastre avansate de atelier de mașini. Acest lucru ne permite să fabricăm componentele de bază folosind grafit, ceramică sau metale refractare și să aplicăm acoperirile ceramice SiC sau TaC în interior. Oferim, de asemenea, servicii de acoperire pentru piesele furnizate de client, asigurând flexibilitate pentru a răspunde nevoilor diverse.
Produsele noastre de acoperire cu carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în epitaxie Si, epitaxie SiC, sistem MOCVD, proces RTP/RTA, proces de gravare, proces de gravare ICP/PSS, proces de diferite tipuri de LED, inclusiv LED albastru și verde, LED UV și UV adânc LED etc., care este adaptat echipamentelor de la LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI și așa mai departe.
Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC | |
Proprietate | Valoare tipică |
Structura de cristal | FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111). |
Densitate | 3,21 g/cm³ |
Duritate | Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g) |
Dimensiunea boabelor | 2~10μm |
Puritatea chimică | 99,99995% |
Capacitate termică | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura de sublimare | 2700℃ |
Rezistența la încovoiere | 415 MPa RT în 4 puncte |
Modulul Young | 430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃ |
Conductivitate termică | 300W·m-1·K-1 |
Expansiune termică (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor este unul dintre cei mai importanți producători și inovatori de suport acoperit cu SiC pentru LPE PE2061S în China. Suntem specializați în material de acoperire SiC de mulți ani. Oferim un suport acoperit cu SiC pentru LPE PE2061S conceput special pentru reactorul de epitaxie cu siliciu LPE. Acest suport acoperit cu SiC pentru LPE PE2061S este partea de jos a susceptorului butoiului. Poate rezista la temperaturi ridicate de 1600 de grade Celsius, prelungește durata de viață a piesei de schimb din grafit. Bun venit să ne trimiteți o întrebare.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător și inovator principal al plăcii superioare acoperite cu SiC pentru LPE PE2061S în China. Suntem specializați în material de acoperire SiC de mulți ani. Oferim o placă superioară acoperită cu SiC pentru LPE PE2061S, concepută special pentru reactorul de epitaxie cu siliciu LPE. Această placă superioară acoperită cu SiC pentru LPE PE2061S este partea superioară împreună cu susceptorul cilindrului. Această placă acoperită cu CVD SiC se mândrește cu puritate ridicată, stabilitate termică excelentă și uniformitate, făcând-o potrivită pentru creșterea straturilor epitaxiale de înaltă calitate. Vă urăm bun venit să vizitați fabrica noastră. în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un susceptor de baril acoperit cu SiC pentru producător și inovator din China. Suntem specializați în material de acoperire SiC de mulți ani. Oferim un susceptor de butoi acoperit cu SiC, conceput special pentru napolitanele LPE PE2061S de 4 inchi. Acest susceptor are o acoperire durabilă din carbură de siliciu care îmbunătățește performanța și durabilitatea în timpul procesului LPE (Liquid Phase Epitaxy). Vă așteptăm cu drag să vizitați fabrica noastră din China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător și inovator de cap de duș cu gaz solid SiC în China. Suntem specializați în materiale semiconductoare de mulți ani. Designul multi-porozitate al capului de duș cu gaz solid SiC VeTek Semiconductor asigură că căldura generată în procesul CVD poate fi dispersată , asigurându-ne că substratul este încălzit uniform. Așteptăm cu nerăbdare să stabilim pe termen lung cu tine în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător și inovator de inel de margine solid SiC în procesul de depunere în vapori chimic în China. Suntem specializați în materiale semiconductoare de mulți ani. Inelul de margine solid SiC VeTek Semiconductor oferă uniformitate îmbunătățită de gravare și poziționare precisă a plachetelor atunci când este utilizat cu o mandrină electrostatică. , asigurând rezultate de gravare consistente și de încredere. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător și inovator de inele de focalizare solid SiC și inovator în China. Suntem specializați în material SiC de mulți ani. eroziune. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul tău pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetă