Inel cu trei petale acoperit cu TaC

VeTek Semiconductor este un producător și furnizor profesionist de inel cu trei petale acoperit cu TaC din China. Inelul cu trei petale acoperit cu TaC este utilizat în sistemul de depunere Aixtron G10 pentru semiconductor compus, epitaxie G10-GaN 150/200 mm de mare capacitate pentru putere GaN și RF aplicatii.

Acoperirea VeTek Semiconductor TaC este o nouă generație de material rezistent la temperaturi înalte, cu o stabilitate mai bună la temperatură înaltă decât SiC, ca acoperire rezistentă la coroziune, acoperire rezistentă la oxidare, acoperire rezistentă la uzură, poate fi utilizată în mediul înconjurător peste 2000℃, utilizat pe scară largă în aerospațial ultra-înaltă temperatură hot end piese, a treia generație de semiconductor monocristal de creștere și alte domenii.

Caracteristicile produsului:

1. Puritate ridicată, conținut de impurități < 5 ppm

2. Rezistență la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune, densitate mare, densitate mare

3. Este inert din punct de vedere chimic la amoniac, hidrogen, silan și siliciu la temperatură ridicată și are o bună stabilitate termică.

4. Rezistența la șoc termic, poate accelera ciclul de funcționare

5. Aderența puternică a grafitului asigură o durată lungă de viață și nicio delaminare a acoperirii.

6. Toleranțe dimensionale stricte.

Aplicatii principale:

1. Cresterea epitaxiala

2. Creșterea unui singur cristal

3. Deviere de coroziune la temperaturi ridicate

4. Duză rezistentă la temperaturi ridicate și la oxidare

5. Palete turbinei cu gaz

Parametrul de produs al inelului cu trei petale acoperit cu TaC

Magazin de producție VeTek Semiconductor