Acoperire ceramică cu carbură de siliciu

Vetek Semiconductor Acoperire ceramică cu carbură de siliciueste un înveliș de protecție de înaltă performanță, realizat din carbură de siliciu (SiC) extrem de dur și rezistent la uzură, care oferă o rezistență excelentă la coroziune chimică și stabilitate la temperaturi ridicate. Aceste proprietăți sunt cruciale în producția de semiconductori, astfel încât acoperirea ceramică cu carbură de siliciu este utilizată pe scară largă pe componentele cheie ale echipamentelor de fabricare a semiconductoarelor.

Rolul specific jucat de Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating în producția de semiconductori estedupă cum urmează:

Îmbunătățiți durabilitatea echipamentului: Acoperirea ceramică cu carbură de siliciu oferă o protecție excelentă a suprafeței echipamentelor de fabricare a semiconductoarelor cu duritatea și rezistența la uzură extrem de ridicate. În special în medii de proces cu temperatură înaltă, foarte corozive, cum ar fi depunerea chimică în vapori (CVD) și gravarea cu plasmă, acoperirea ceramică cu carbură de siliciu poate preveni eficient deteriorarea suprafeței echipamentului din cauza eroziunii chimice sau uzurii fizice, prelungind astfel în mod semnificativ durata de viață a echipamentului și reducerea timpului de nefuncționare cauzat de înlocuirea și întreținerea frecventă.

Îmbunătățiți puritatea procesului: În procesul de fabricație a semiconductorilor, orice contaminare mică poate cauza defecte ale produsului. Inerția chimică a acoperirii ceramice cu carbură de siliciu îi permite să rămână stabil în condiții extreme, împiedică materialul să elibereze particule sau impurități și asigură puritatea mediului în timpul procesului. Acest lucru este deosebit de important pentru etapele de fabricație care necesită precizie ridicată și curățenie ridicată, cum ar fi PECVD și implantarea ionică.

Optimizați managementul termic: În procesarea semiconductorilor la temperatură înaltă, cum ar fi procesarea termică rapidă (RTP) și procesele de oxidare, conductivitatea termică ridicată a acoperirii ceramice cu carbură de siliciu permite o distribuție uniformă a temperaturii în interiorul echipamentului. Acest lucru ajută la reducerea stresului termic și a deformării materialului cauzate de fluctuațiile de temperatură, îmbunătățind astfel acuratețea și consistența fabricării produsului.

Sprijină mediul de proces complex: În procesele care necesită un control complex al atmosferei, cum ar fi procesele de gravare ICP și de gravare PSS, stabilitatea și rezistența la oxidare a încălzitorului de acoperire ceramică cu carbură de siliciu asigură performanța stabilă a echipamentului în funcționare pe termen lung, reducând riscul de degradare a materialului sau a echipamentului. daune cauzate de schimbările de mediu.

Vetek Semiconductorse concentrează pe producția și furnizarea de înaltă performanțăAcoperire ceramică cu carbură de siliciuși se angajează să furnizeze tehnologie avansată și soluții de produse pentru industria semiconductoarelor.Sperăm din suflet să fim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Proprietățile fizice de bază aleAcoperire ceramică cu carbură de siliciu:

Magazine de acoperire ceramică VeTek Semiconductor Carbide de siliciu:

Prezentare generală a lanțului industriei de epitaxie a cipurilor semiconductoare: