încălzitor de acoperire ceramică cu carbură de siliciu

VeTek SemiconductorÎncălzitorul cu acoperire ceramică cu carbură de siliciu este un încălzitor conceput pentru temperaturi ridicate și medii dure. Acoperă un strat de siliciu carbon-ceramic (SiC) pe suprafața elementului de încălzire pentru a oferi echipamentului o rezistență excelentă la căldură, rezistență la coroziune și conductivitate termică. 

Încălzitor cu acoperire ceramică cu carbură de siliciueste utilizat în principal în echipamentele de acoperire cu vid (evaporare). Metodele utilizate în mod obișnuit sunt PCD (uscarea chimică cu plasmă) și PVD (depunerea fizică în vapori), care sunt utilizate pe scară largă în fabricarea semiconductoarelor și în alte aplicații industriale la cerere mare.

Combinat cu designul de acoperire de înaltă performanță al încălzitorului de acoperire ceramică cu carbură de siliciu,poate oferi o soluție excelentă de încălzire pentru procesele la temperatură înaltă.

Conductivitate termică excelentă: Materialul SiC are o conductivitate termică excelentă, asigurând că încălzitorul poate realiza o distribuție uniformă a căldurii în zona de lucru și poate reduce gradienții de temperatură.

Asigurați o distribuție uniformă a căldurii: Încălzitorul cu acoperire ceramică cu carbură de siliciu folosește conductivitatea termică ridicată a materialului SiC pentru a obține o distribuție uniformă a temperaturii în întreaga zonă de încălzire. Acest lucru este esențial pentru a asigura un tratament termic uniform al plăcilor semiconductoare în diferite procese la temperatură ridicată, cum ar fi procesarea termică rapidă (RTP), difuzia și oxidarea, evitând defectele produsului cauzate de supraîncălzirea locală sau de temperatură neuniformă.

Toleranță ridicată la temperatură: Acoperirea SiC permite încălzitorului să reziste la temperaturi extrem de ridicate, de obicei până la 1600°C, potrivite pentru diferite procese de procesare la temperatură înaltă.

Îmbunătățiți rezistența la căldură: Deoarece stratul de acoperire poate rezista la temperaturi extrem de ridicate, funcționează bine în procesele care necesită funcționare pe termen lung la temperatură ridicată. De exemplu, în procesele de depunere chimică în vapori (CVD), încălzitorul cu acoperire ceramică cu carbură de siliciu poate asigura o funcționare stabilă pe termen lung a echipamentului la temperaturi ridicate și poate menține performanța constantă de încălzire, îmbunătățind astfel repetabilitatea și fiabilitatea procesului.

Rezistenta la coroziune chimica: Acoperirea SiC are o rezistență extrem de ridicată la gaze acide, alcaline și corozive și poate rămâne stabilă mult timp într-un mediu complex de atmosferă chimică, prelungind durata de viață a echipamentului. 

Prelungirea duratei de viață a echipamentului: Acoperirea SiC are o rezistență excelentă la oxidare și rezistență la coroziune și poate rezista eficient la eroziunea chimică și oxidarea la temperaturi ridicate. Acest lucru este foarte critic în procesul de fabricație a semiconductorilor, în special într-un mediu care manipulează gaze și substanțe chimice corozive. Efectul de protecție al acoperirii poate prelungi semnificativ durata de viață a încălzitorului și poate reduce frecvența costurilor de înlocuire și întreținere a echipamentelor.

Proprietățile fizice de bază ale încălzitorului de acoperire ceramică cu carbură de siliciu:

VeTek Semiconductor magazine de încălzire cu acoperire ceramică cu carbură de siliciu:

Prezentare generală a lanțului industriei de epitaxie a cipurilor semiconductoare VeTek: