VeTek Semiconductor este partenerul dumneavoastră inovator în domeniul prelucrării semiconductoarelor. Cu portofoliul nostru extins de combinații de materiale ceramice cu carbură de siliciu de calitate semiconductoare, capacități de fabricare a componentelor și servicii de inginerie a aplicațiilor, vă putem ajuta să depășiți provocările semnificative. Tehnica de inginerie Ceramica cu carbură de siliciu este aplicată pe scară largă în industria semiconductoarelor datorită performanței lor excepționale a materialelor. Ceramica cu carbură de siliciu ultrapură de la VeTek Semiconductor este folosită frecvent pe parcursul întregului ciclu de fabricație și procesare a semiconductorilor.
VeTek Semiconductor oferă componente ceramice proiectate special concepute pentru difuzia în loturi și cerințele LPCVD, inclusiv:
• Deflectoare și suporturi
• Injectoare
• Căptușeală și tuburi de proces
• Palete cantilever din carbură de siliciu
• Barci de napolitană și piedestale
Vâslă cantilever SiC Tuburi de proces SiC Tub de proces cu carbură de siliciu Barcă cu napolitană verticală SiC Barcă de napolitană orizontală SiC SiC orizontale quare napolitana barca Barcă de napolitană SiC LPCVD Barcă cu plăci orizontale SiC Barcă cu napolitană rotundă SiC
Minimizați contaminarea și întreținerea neprogramată cu componente de înaltă puritate proiectate pentru rigorile procesării de gravare cu plasmă, inclusiv:
Inele de focalizare
Duze
Scuturi
Capete de duș
Ferestre / Capaci
Alte componente personalizate
VeTek Semiconductor oferă componente de materiale avansate, adaptate pentru aplicațiile de procesare termică la temperatură înaltă din industria semiconductoarelor. Aceste aplicații cuprind RTP, procese Epi, difuzie, oxidare și recoacere. Ceramica noastră tehnică este concepută pentru a rezista la șocuri termice, oferind performanțe fiabile și consecvente. Cu componentele VeTek Semiconductor, producătorii de semiconductori pot realiza o procesare termică eficientă și de înaltă calitate, contribuind la succesul general al producției de semiconductori.
• Difuzoare
• Izolatoare
• Susceptori
• Alte componente termice personalizate
Proprietățile fizice ale carburii de siliciu recristalizate | |
Proprietate | Valoare tipica |
Temperatura de lucru (°C) | 1600°C (cu oxigen), 1700°C (mediu de reducere) |
Conținut de SiC / SiC | > 99,96% |
Conținut Si / Free Si | < 0,1% |
Densitate în vrac | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porozitate aparentă | < 16% |
Rezistența la compresiune | > 600 MPa |
Rezistența la îndoire la rece | 80-90 MPa (20°C) |
Rezistența la îndoire la cald | 90-100 MPa (1400°C) |
Expansiune termică la 1500°C | 4,70 10-6/°C |
Conductivitate termică @1200°C | 23 W/m•K |
Modul elastic | 240 GPa |
Rezistenta la socuri termice | Extrem de bine |
VeTek Semiconductor este un producător de frunte și inovator de palete cantilever SiC de înaltă puritate în China. Paletele Cantilever SiC de înaltă puritate sunt utilizate în mod obișnuit în cuptoarele de difuzie cu semiconductori ca platforme de transfer sau de încărcare a plachetelor. VeTek Semiconductor se angajează să furnizeze tehnologie avansată și soluții de produse pentru industria semiconductoarelor. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎn calitate de producător și furnizor profesionist de barcă și piedestal cu coloană verticală în China, Vetek Semiconductor este fabricat din materiale de cuarț sau siliciu carbon ceramic (SiC) de înaltă puritate, cu rezistență excelentă la temperaturi ridicate, stabilitate chimică și rezistență mecanică. și este o componentă de bază indispensabilă în procesul de fabricație a semiconductorilor. Bine ați venit la consultația dvs. ulterioară.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat este un echipament avansat pentru procesarea semiconductoarelor. Structura produsului Contiguous Wafer Boat este proiectată cu atenție pentru a asigura procesarea și producția eficiente de napolitane de precizie. Vetek Semiconductor se angajează să ofere soluții excelente de tehnologie și produse pentru industria semiconductoarelor. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător chinez profesionist de siliciu pe placă izolatoare, bază planetară ALD și bază de grafit acoperit cu TaC. Siliciul pe izolator de la VeTek Semiconductor este un material substrat semiconductor important, iar caracteristicile sale excelente ale produsului îl fac să joace un rol cheie în aplicațiile de înaltă performanță, putere redusă, integrare ridicată și RF. Așteptăm cu nerăbdare să cooperăm în continuare cu dvs.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător și furnizor profesionist de inel de ghidare acoperit cu TaC, suport orizontal de napolitană SiC și susceptori acoperiți cu SiC în China. Ne angajăm să oferim suport tehnic perfect și soluții de produs de ultimă generație pentru industria semiconductoarelor. Bine ați venit să ne contactați.
Citeşte mai multTrimite o anchetăBarca SiC Wafer Boat de la VeTek Semiconductor este un produs de foarte înaltă performanță. Barca noastră de napolitană SiC este de obicei folosită în cuptoarele de difuzie cu oxidare a semiconductoarelor pentru a se asigura că temperatura este distribuită uniform pe placă și pentru a îmbunătăți calitatea prelucrării plachetelor de siliciu. Stabilitatea la temperaturi ridicate și conductivitatea termică ridicată a materialelor SiC asigură o procesare eficientă și fiabilă a semiconductoarelor. Ne angajăm să oferim produse de calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să fim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetă