VeTek Semiconductor este partenerul dumneavoastră inovator în domeniul prelucrării semiconductoarelor. Cu portofoliul nostru extins de combinații de materiale ceramice cu carbură de siliciu de calitate semiconductoare, capacități de fabricare a componentelor și servicii de inginerie a aplicațiilor, vă putem ajuta să depășiți provocările semnificative. Tehnica de inginerie Ceramica cu carbură de siliciu este aplicată pe scară largă în industria semiconductoarelor datorită performanței lor excepționale a materialelor. Ceramica cu carbură de siliciu ultrapură de la VeTek Semiconductor este folosită frecvent pe parcursul întregului ciclu de fabricație și procesare a semiconductorilor.
VeTek Semiconductor oferă componente ceramice proiectate special concepute pentru difuzia în loturi și cerințele LPCVD, inclusiv:
• Deflectoare și suporturi
• Injectoare
• Căptușeală și tuburi de proces
• Palete cantilever din carbură de siliciu
• Barci de napolitană și piedestale
Vâslă cantilever SiC Tuburi de proces SiC Tub de proces cu carbură de siliciu Barcă cu napolitană verticală SiC Barcă de napolitană orizontală SiC SiC orizontale quare napolitana barca Barcă de napolitană SiC LPCVD Barcă cu plăci orizontale SiC Barcă cu napolitană rotundă SiC
Minimizați contaminarea și întreținerea neprogramată cu componente de înaltă puritate proiectate pentru rigorile procesării de gravare cu plasmă, inclusiv:
Inele de focalizare
Duze
Scuturi
Capete de duș
Ferestre / Capaci
Alte componente personalizate
VeTek Semiconductor oferă componente de materiale avansate, adaptate pentru aplicațiile de procesare termică la temperatură înaltă din industria semiconductoarelor. Aceste aplicații cuprind RTP, procese Epi, difuzie, oxidare și recoacere. Ceramica noastră tehnică este concepută pentru a rezista la șocuri termice, oferind performanțe fiabile și consecvente. Cu componentele VeTek Semiconductor, producătorii de semiconductori pot realiza o procesare termică eficientă și de înaltă calitate, contribuind la succesul general al producției de semiconductori.
• Difuzoare
• Izolatoare
• Susceptori
• Alte componente termice personalizate
Proprietățile fizice ale carburii de siliciu recristalizate | |
Proprietate | Valoare tipica |
Temperatura de lucru (°C) | 1600°C (cu oxigen), 1700°C (mediu de reducere) |
Conținut de SiC / SiC | > 99,96% |
Conținut Si / Free Si | < 0,1% |
Densitate în vrac | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porozitate aparentă | < 16% |
Rezistența la compresiune | > 600 MPa |
Rezistența la îndoire la rece | 80-90 MPa (20°C) |
Rezistența la îndoire la cald | 90-100 MPa (1400°C) |
Expansiune termică la 1500°C | 4,70 10-6/°C |
Conductivitate termică @1200°C | 23 W/m•K |
Modul elastic | 240 GPa |
Rezistenta la socuri termice | Extrem de bine |
Barca de napolitană cu carbură de siliciu de înaltă puritate a VeTek Semiconductor este realizată din material din carbură de siliciu extrem de pur, cu stabilitate termică, rezistență mecanică și rezistență chimică excelentă. Barca de napolitană cu carbură de siliciu de înaltă puritate este utilizată în aplicațiile cu zone fierbinți în fabricarea semiconductoarelor, în special în medii cu temperatură ridicată, și joacă un rol important în protejarea napolitanelor, transportul materialelor și menținerea proceselor stabile. VeTek Semiconductor va continua să muncească din greu pentru a inova și a îmbunătăți performanța barcilor napolitane cu carbură de siliciu de înaltă puritate pentru a răspunde nevoilor în evoluție ale producției de semiconductori. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partener......
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător și furnizor profesionist, dedicat furnizării de pulbere de carbură de siliciu ultra pură de înaltă calitate pentru creșterea cristalelor. Cu o puritate de până la 99,999% în greutate și un nivel extrem de scăzut de impurități de azot, bor, aluminiu și alți contaminanți, este proiectat special pentru a îmbunătăți proprietățile semiizolante ale carburii de siliciu de înaltă puritate. Bine ați venit să întrebați și să cooperați cu noi!
Citeşte mai multTrimite o anchetă