Acoperirile unice de carbură de la VeTek Semiconductor oferă o protecție superioară pieselor din grafit în procesul de epitaxie SiC pentru procesarea materialelor semiconductoare și semiconductoare compozite solicitante. Rezultatul este prelungirea duratei de viață a componentei de grafit, păstrarea stoichiometriei reacției, inhibarea migrării impurităților către aplicații de epitaxie și creștere a cristalelor, ceea ce duce la creșterea randamentului și a calității.
Acoperirile noastre cu carbură de tantal (TaC) protejează componentele critice ale cuptorului și reactorului la temperaturi ridicate (până la 2200°C) de amoniacul fierbinte, hidrogenul, vaporii de siliciu și metalele topite. VeTek Semiconductor are o gamă largă de capabilități de procesare și măsurare a grafitului pentru a satisface cerințele dvs. personalizate, astfel încât să vă putem oferi o acoperire contra cost sau servicii complete, cu echipa noastră de ingineri experți gata să proiecteze soluția potrivită pentru dvs. și aplicația dvs. specifică .
Cristale semiconductoare compuse
VeTek Semiconductor poate oferi acoperiri speciale TaC pentru diferite componente și suporturi. Prin procesul de acoperire lider în industrie VeTek Semiconductor, acoperirea TaC poate obține puritate ridicată, stabilitate la temperatură ridicată și rezistență chimică ridicată, îmbunătățind astfel calitatea produsului a straturilor de cristal TaC/GaN) și EPl și prelungind durata de viață a componentelor critice ale reactorului.
Izolatoare termice
Componente de creștere a cristalelor SiC, GaN și AlN, inclusiv creuzete, suporturi pentru semințe, deflectoare și filtre. Ansambluri industriale, inclusiv elemente de încălzire rezistive, duze, inele de ecranare și dispozitive de lipire, componente ale reactoarelor CVD epitaxiale GaN și SiC, inclusiv suporturi de placă, tăvi satelit, capete de duș, capace și piedestale, componente MOCVD.
Purtător de placă LED (diodă emițătoare de lumină).
Receptor ALD(Semiconductor).
Receptor EPI (proces de epitaxie SiC)
Susceptor prin satelit acoperit cu TaC Susceptor și inel de acoperire TaC Piese de acoperire TaC Piese semilună cu acoperire TaC
Sic | TaC | |
Caracteristici principale | Puritate ultra înaltă, rezistență excelentă la plasmă | Stabilitate excelentă la temperaturi ridicate (conformitatea procesului la temperaturi înalte) |
Puritate | >99,9999% | >99,9999% |
Densitate (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Duritate (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Rezistivitate [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Conductivitate termică (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Coeficient de dilatare termică (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Aplicație | Echipament cu semiconductori Jig din ceramică (inel de focalizare, cap de duș, napolitană falsă) | Creștere monocristal SiC, piese de echipamente Epi, UV LED |
VeTek Semiconductor este un producător și inovator de inele cu trei petale acoperite cu TaC în China. Suntem specializați în acoperirea TaC și SiC de mulți ani. Produsele noastre au o rezistență la coroziune, o rezistență ridicată. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător și inovator principal de mandrine acoperite cu carbură de tantal în China. Suntem specializați în acoperirea TaC de mulți ani. Produsele noastre au o puritate ridicată și rezistență la temperaturi ridicate de până la 2000 ℃. Așteptăm cu nerăbdare să devenim pe termen lung. partener în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător și inovator de acoperire acoperită cu carbură de tantal în China. Suntem specializați în acoperire TaC și SiC de mulți ani. Produsele noastre au o rezistență la coroziune, rezistență ridicată. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un furnizor principal de semilună inferioară de grafit ultra pur personalizat în China, specializat în materiale avansate de mulți ani. Semilună inferioară din grafit ultra pur este conceput special pentru echipamentele epitaxiale SiC, asigurând performanțe excelente. Fabricat din grafit importat ultra-pur, oferă fiabilitate și durabilitate. Vizitați fabrica noastră din China pentru a explora în mod direct semilună inferioară de grafit ultra pur de înaltă calitate.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un furnizor principal de piese de semilună superioare personalizate acoperite cu SiC în China, specializat în materiale avansate de peste 20 de ani. VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part acoperit cu SiC este proiectat special pentru echipamentele epitaxiale SiC, servind ca o componentă crucială în camera de reacție. Fabricat din grafit ultra-pur, de calitate semiconductoare, asigură performanțe excelente. Vă invităm să vizitați fabrica noastră din China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un furnizor de lider personalizat de purtător de placă epitaxială cu carbură de siliciu în China. Suntem specializați în materiale avansate de peste 20 de ani. Oferim un purtător pentru napolitană cu epitaxie cu carbură de siliciu pentru transportul substratului SiC, creșterea stratului de epitaxie SiC în reactorul epitaxial SiC. Acest suport de napolitană cu epitaxie cu carbură de siliciu este o parte importantă acoperită cu SiC a părții semilună, rezistență la temperaturi ridicate, rezistență la oxidare, rezistență la uzură. Vă așteptăm să vizitați fabrica noastră din China.
Citeşte mai multTrimite o anchetă