Inel de ghidare cu trei petale acoperit cu CVD TaC

VeTek Semiconductor a experimentat mulți ani de dezvoltare tehnologică și a stăpânit tehnologia de proces de vârf a acoperirii CVD TaC. Inelul de ghidare cu trei petale acoperit cu CVD TaC este unul dintre cele mai mature produse de acoperire CVD TaC de la VeTek Semiconductor și este o componentă importantă pentru prepararea cristalelor de SiC prin metoda PVT. Cu ajutorul VeTek Semiconductor, cred că producția ta de cristale SiC va fi mai lină și mai eficientă.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Materialul substratului cu un singur cristal din carbură de siliciu este un fel de material cristalin, care aparține materialului semiconductor cu bandă largă. Are avantajele rezistenței la înaltă tensiune, rezistenței la temperaturi ridicate, frecvenței înalte, pierderilor reduse etc. Este un material de bază pentru pregătirea dispozitivelor electronice de mare putere și a dispozitivelor cu microunde cu frecvență radio. În prezent, principalele metode de creștere a cristalelor de SiC sunt transportul fizic al vaporilor (metoda PVT), depunerea chimică în vapori la temperatură înaltă (metoda HTCVD), metoda fază lichidă etc.

Working diagram of CVD TaC coated three-petal guide ring

Metoda PVT este o metodă relativ matură, care este mai potrivită pentru producția industrială în masă. Prin plasarea cristalului de sămânță de SiC în partea de sus a creuzetului și plasarea pulberii de SiC ca materie primă pe fundul creuzetului, într-un mediu închis de temperatură ridicată și presiune joasă, pulberea de SiC se sublimează și este transferată în sus în vecinătate. a cristalului sămânță sub acțiunea gradientului de temperatură și a diferenței de concentrație și recristalizează după atingerea stării suprasaturate, creșterea controlabilă a Dimensiunea cristalului SiC și tipul de cristal specific pot fi atinse.

Funcția principală a inelului de ghidare cu trei petale acoperit cu CVD TaC este de a îmbunătăți mecanica fluidelor, de a ghida fluxul de gaz și de a ajuta zona de creștere a cristalelor să obțină o atmosferă uniformă. De asemenea, disipă eficient căldura și menține gradientul de temperatură în timpul creșterii cristalelor de SiC, optimizând astfel condițiile de creștere ale cristalelor de SiC și evitând defectele cristalelor cauzate de distribuția neuniformă a temperaturii.

Performanță excelentă a acoperirii CVD TaC

● Puritate ultra-înaltă: Evita generarea de impuritati si contaminare.

● Stabilitate la temperaturi ridicate: Stabilitatea la temperaturi ridicate peste 2500°C permite funcționarea la temperaturi ultra-înalte.

● Toleranta la mediul chimic: Toleranță la H(2), NH(3), SiH(4) și Si, oferind protecție în medii chimice dure.

● Viață lungă fără vărsare: Legarea puternică cu corpul din grafit poate asigura un ciclu lung de viață fără pierderea acoperirii interioare.

● Rezistenta la socuri termice: Rezistența la șoc termic accelerează ciclul de funcționare.

●Toleranță dimensională strictă: Asigură acoperirea acoperirii cu toleranțe dimensionale stricte.

VeTek Semiconductor are o echipă de asistență tehnică profesionistă și matură și o echipă de vânzări care poate personaliza cele mai potrivite produse și soluții pentru dvs. De la pre-vânzare la post-vânzare, VeTek Semiconductor se angajează întotdeauna să vă ofere cele mai complete și cuprinzătoare servicii.

Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC

Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC
Densitatea acoperirii TaC	14,3 (g/cm³)
Emisivitate specifică	0.3
Coeficientul de dilatare termică	6.3 10^-6/K
Duritate acoperire TaC (HK)	2000 HK
Rezistenţă	1×10^-5Ohm*cm
Stabilitate termică	<2500℃
Dimensiunea grafitului se modifică	-10~-20um
Grosimea acoperirii	≥20um valoare tipică (35um±10um)
Conductivitate termică	9-22 (W/m·K)

VeTek Semiconductor CVD TaC acoperit cu trei petale inel de ghidare magazine de produse

SiC Graphite substrate CVD TaC coated three-petal guide ring test Silicon carbide ceramic processing Semiconductor process equipment

Hot Tags: Inel de ghidare cu trei petale acoperit cu CVD TaC, China, Producător, Furnizor, Fabrică, Personalizat, Cumpărare, Avansat, Durabil, Fabricat în China

Etichetă de produs

Categorie aferentă