Receptor rotativ din grafit

Susceptorul rotativ de grafit de înaltă puritate joacă un rol important în creșterea epitaxială a nitrurii de galiu (procesul MOCVD). VeTek Semiconductor este un important producător și furnizor de susceptori rotativi din grafit din China. Am dezvoltat multe produse din grafit de înaltă puritate bazate pe materiale de grafit de înaltă puritate, care îndeplinesc pe deplin cerințele industriei semiconductoarelor. VeTek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să devină partenerul tău în Rotating Graphite susceptor.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Schematic diagram of the working process of High purity graphite rotating susceptor

Susceptorii rotativi din grafit de înaltă puritate sunt utilizați în echipamentele de prelucrare a materialelor în medii cu temperaturi ridicate și vid înalt. În creșterea epitaxială a nitrurii de galiu (procesul MOCVD), acestea joacă un rol de sprijin în rotația substratului. Susceptorul rotativ de grafit al VeTekSemi are următoarele avantaje:

● Puritate ridicată: Conținutul de impurități din susceptorii rotativi de grafit de înaltă puritate este sub 5 ppm. Acest nivel de puritate a grafitului poate evita eliberarea de impurități la temperaturi ridicate pentru a asigura curățenia procesului de depunere. Prin urmare, nu este necesară nicio acoperire pentru a îndeplini cerințele de lucru.

Grafit de înaltă puritate

● Proprietăți termice excelente: Grafitul de înaltă puritate are o conductivitate termică excelentă, iar conductivitatea sa termică este mult mai mare decât alte materiale. Coeficientul de dilatare termică este mic și poate menține o performanță stabilă atunci când se confruntă cu schimbări de temperatură.

● Proprietăți mecanice bune: Grafitul de înaltă puritate are o bună rezistență la uzură și duritate, care poate îndeplini cerințele complexe ale procesului CVD.

● Conductivitate excelentă: Conductivitatea este de o sută de ori mai mare decât cea a mineralelor generale nemetalice.

● Stabilitatea chimică: Poate rezista la coroziune de la acizi, alcaline și solvenți organici

În plus, în calitate de producător și furnizor de top de susceptor rotativ de grafit de înaltă puritate în China, VeTek Semiconductor oferă, de asemenea, de înaltă calitate.Susceptor de grafit acoperit cu SiC pentru MOCVD, Susceptor de butoi acoperit cu SiC, Receptor din grafit acoperit cu TaCşiSusceptor de acoperire MOCVD SiC.VeTek Semiconductorse angajează să furnizeze tehnologie avansată și soluții de produs pentru industria semiconductoarelor și, de asemenea, acceptă servicii personalizate. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

VeTek SemiconductorMagazine de produse Susceptor rotativ din grafit:

Graphite Susceptor Vetek Semiconductor Graphite Rotating Susceptor test Semiconductor ceramics technology