Susceptor pentru clătite acoperit cu SiC pentru napolitane LPE PE3061S 6''

VeTek Semiconductor este unul dintre cei mai importanți susceptori de clătite acoperite cu SiC pentru producător și inovator de napolitane LPE PE3061S de 6 inchi în China. Suntem specializați în material de acoperire SiC de mulți ani. Oferim un susceptor de clătite acoperit cu SiC proiectat special pentru napolitanele LPE PE3061S de 6 inchi. . Acest susceptor epitaxial are rezistență ridicată la coroziune, performanță bună de conducere a căldurii, uniformitate bună. Vă invităm să vizitați fabrica noastră din China.

Trimite o anchetă

Descriere produs

În calitate de producător profesionist, VeTek Semiconductor ar dori să vă ofere un susceptor de clătite acoperit cu SiC de înaltă calitate pentru napolitane LPE PE3061S 6''.

Susceptorul de clătite acoperit cu SiC VeTeK Semiconductor pentru napolitane LPE PE3061S de 6" este un echipament critic utilizat în procesele de fabricație a semiconductorilor.

Susceptor pentru clătite acoperit cu SiC pentru napolitane LPE PE3061S 6" Caracteristici ale produsului:

Stabilitate la temperatură ridicată: SiC prezintă o stabilitate excelentă la temperatură ridicată, menținându-și structura și performanța în medii cu temperatură înaltă.

Conductivitate termică remarcabilă: SiC are o conductivitate termică excepțională, permițând un transfer rapid și uniform de căldură pentru o încălzire rapidă și uniformă.

Rezistență la coroziune: SiC posedă o stabilitate chimică excelentă, rezistând la coroziune și oxidare în diferite medii de încălzire.

Distribuție uniformă a încălzirii: suportul pentru plachetă acoperit cu SiC asigură o distribuție uniformă a încălzirii, asigurând o temperatură uniformă pe suprafața plachetei în timpul încălzirii.

Potrivit pentru producția de semiconductori: purtătorul de plachete cu epitaxie Si este utilizat pe scară largă în procesele de fabricare a semiconductoarelor, în special pentru creșterea epitaxiei Si și alte procese de încălzire la temperatură înaltă.

Avantajele produsului:

Eficiență îmbunătățită a producției: susceptorul de clătite acoperit cu SiC permite o încălzire rapidă și uniformă, reducând timpul de încălzire și sporind eficiența producției.

Calitatea asigurată a produsului: Distribuția uniformă a încălzirii asigură consistența în timpul procesării napolitanelor, ceea ce duce la o calitate îmbunătățită a produsului.

Durată de viață extinsă a echipamentului: materialul SiC oferă o rezistență excelentă la căldură și stabilitate chimică, contribuind la o durată de viață mai lungă a susceptorului de clătite.

Soluții personalizate: susceptor acoperit cu SiC, purtător de plachete de epitaxie Si poate fi adaptat la diferite dimensiuni și specificații, în funcție de cerințele clienților.

SEM data and structure of CVD SIC films

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC:

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC
Proprietate	Valoare tipică
Structura de cristal	FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111).
Densitate	3,21 g/cm³
Duritate	Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g)
Dimensiunea boabelor	2~10μm
Puritatea chimică	99,99995%
Capacitatea termică	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimare	2700℃
Rezistența la încovoiere	415 MPa RT în 4 puncte
Modulul Young	430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
Conductivitate termică	300W·m-1·K-1
Expansiune termică (CTE)	4,5×10-6K-1

Magazin de producție VeTek Semiconductor

VeTek Semiconductor Production Shop

Prezentare generală a lanțului industriei de epitaxie a cipurilor semiconductoare:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Hot Tags: Susceptor de clătite acoperit cu SiC pentru napolitane LPE PE3061S 6 inchi, China, producător, furnizor, fabrică, personalizat, cumpărare, avansat, durabil, fabricat în China

Etichetă de produs

Categorie aferentă