Receptor de disc

Vetek Semiconductor oferă un susceptor de disc din grafit de tăiere. Acoperirea SiC oferă stabilitate termică superioară, rezistență chimică excelentă și uniformitate îmbunătățită a procesului, asigurând performanță și fiabilitate optime. Experimentați următorul nivel de eficiență și precizie cu susceptorul de disc acoperit cu SiC de la Vetek Semiconductor.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Susceptor de disc de grafit de la Vetek Semiconductor, un produs de înaltă performanță pentru procesele avansate de fabricare a semiconductorilor. Suceptorul nostru de disc de grafit este proiectat pentru a satisface cerințele exigente ale industriei și pentru a oferi performanță și fiabilitate excepționale.

Acest susceptor cu disc de grafit este OEM pentru platforma reactorului planetar AIX G5.

GaN-on-Si MOCVD este utilizat pentru producția de LED-uri epitaxiale, iar reactorul Aixtron G5 îmbunătățește randamentul și uniformitatea platformei MOCVD. Un model uniform simetric rotit complet pe cinci plachete de 200 mm, folosind un substrat de siliciu de grosime standard și controlând comportamentul de îndoire a plachetelor, a oficializat ceea ce aveau nevoie pentru fabricarea siliciului.

Susceptor de disc de grafit de înaltă puritate de la Vetek Semiconductor pentru GaN-on-Si MOCVD, o soluție fiabilă și rentabilă pentru procesele avansate de fabricare a semiconductorilor.

Suceptorul nostru de disc de grafit de înaltă puritate este proiectat special pentru a îndeplini cerințele proceselor MOCVD GaN-on-Si. Cu stabilitatea sa termică excepțională și rezistența la căldură, poate rezista la condiții de temperatură solicitante, de obicei cuprinse între 800°C și 1100°C, asigurând performanțe optime în timpul procesului de depunere.

Materialul de grafit de înaltă puritate utilizat în susceptorul nostru de disc oferă o rezistență chimică excelentă, făcându-l compatibil cu amoniacul (NH3) și precursorii metalelor organice utilizați în mod obișnuit în GaN-on-Si MOCVD. Acest lucru elimină nevoia de acoperiri suplimentare de SiC, reducând costurile de producție fără a compromite performanța.

Suceptorul de disc de grafit de înaltă puritate al Vetek Semiconductor oferă o soluție rentabilă, fără a face compromisuri la calitate. Fiabilitatea, durabilitatea și compatibilitatea sa cu procesele MOCVD GaN-on-Si îl fac alegerea preferată pentru producătorii de semiconductori. Aveți încredere în Vetek Semiconductor pentru a furniza suporturi de disc de grafit de înaltă performanță pentru nevoile dvs. de producție GaN-on-Si MOCVD.