Produsul VeTek Semiconductor, produsele de acoperire cu carbură de tantal (TaC) pentru procesul de creștere a cristalului unic SiC, abordează provocările asociate cu interfața de creștere a cristalelor cu carbură de siliciu (SiC), în special defectele cuprinzătoare care apar la marginea cristalului. Prin aplicarea acoperirii TaC, ne propunem să îmbunătățim calitatea creșterii cristalului și să creștem zona efectivă a centrului cristalului, ceea ce este crucial pentru obținerea unei creșteri rapide și groase.
Acoperirea TaC este o soluție tehnologică de bază pentru creșterea procesului de creștere a unui singur cristal SiC de înaltă calitate. Am dezvoltat cu succes o tehnologie de acoperire cu TaC folosind depunerea chimică în vapori (CVD), care a atins un nivel avansat la nivel internațional. TaC are proprietăți excepționale, inclusiv un punct de topire ridicat de până la 3880°C, rezistență mecanică excelentă, duritate și rezistență la șocuri termice. De asemenea, prezintă o bună inerție chimică și stabilitate termică atunci când este expus la temperaturi ridicate și la substanțe precum amoniacul, hidrogenul și aburul care conține siliciu.
Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) de la VeTek Semiconductor oferă o soluție pentru a aborda problemele legate de margini în procesul de creștere a cristalului unic SiC, îmbunătățind calitatea și eficiența procesului de creștere. Cu tehnologia noastră avansată de acoperire TaC, ne propunem să sprijinim dezvoltarea industriei semiconductoare de a treia generație și să reducem dependența de materialele cheie importate.
Creuzetul acoperit cu TaC, suportul pentru semințe cu acoperire TaC, inelul de ghidare cu acoperire TaC sunt părți importante în cuptorul cu un singur cristal de SiC și AIN prin metoda PVT.
- Rezistenta la temperaturi ridicate
- Puritate ridicată, nu va polua materiile prime SiC și monocristalele SiC.
- Rezistent la abur de Al și la coroziune cu N₂
-Temperatura eutectică ridicată (cu AlN) pentru a scurta ciclul de preparare a cristalelor.
-Reciclabil (pana la 200h), imbunatateste durabilitatea si eficienta prepararii unor astfel de monocristale.
Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC | |
Densitate | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitate specifică | 0.3 |
Coeficientul de dilatare termică | 6,3 10-6/K |
Duritate (HK) | 2000 HK |
Rezistenţă | 1×10-5 Ohm*cm |
Stabilitate termică | <2500℃ |
Dimensiunea grafitului se modifică | -10~-20um |
Grosimea stratului de acoperire | ≥20um valoare tipică (35um±10um) |
VeTek Semiconductor este un producător și inovator principal de suporturi de napolitană de grafit acoperit cu TaC în China. Suntem specializați în acoperirea cu SiC și TaC de mulți ani. Suportul nostru de napolitană de grafit acoperit cu TaC are o rezistență mai mare la temperatură și rezistent la uzură. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetă