Tehnologia de pulverizare termică a semiconductorilor

Tehnologia de pulverizare termică a semiconductorilor este un proces avansat care pulverizează materiale în stare topită sau semitopită pe suprafața unui substrat pentru a forma o acoperire. Această tehnologie este utilizată pe scară largă în domeniul producției de semiconductori, utilizată în principal pentru a crea acoperiri cu funcții specifice pe suprafața substratului, cum ar fi conductivitatea, izolația, rezistența la coroziune și rezistența la oxidare. Principalele avantaje ale tehnologiei de pulverizare termică includ eficiență ridicată, grosime controlabilă a stratului și aderență bună a stratului, ceea ce o face deosebit de importantă în procesul de fabricație a semiconductorilor care necesită precizie și fiabilitate ridicate.

Aplicarea tehnologiei de pulverizare termică în semiconductori

Gravare cu fascicul de plasmă (gravare uscată)

De obicei se referă la utilizarea descărcării strălucitoare pentru a genera particule active de plasmă care conțin particule încărcate, cum ar fi plasmă și electroni și atomi neutri foarte activi din punct de vedere chimic și molecule și radicali liberi, care difuzează în partea de gravat, reacționează cu materialul gravat, formează substanțe volatile. produse și sunt îndepărtate, completând astfel tehnologia de gravare a transferului de modele. Este un proces de neînlocuit pentru realizarea transferului de înaltă fidelitate a modelelor fine de la șabloane de fotolitografie la wafer-uri în producția de circuite integrate la scară foarte mare.

Va fi generat un număr mare de radicali liberi activi precum Cl și F. Când gravează dispozitivele semiconductoare, corodează suprafețele interioare ale altor părți ale echipamentului, inclusiv aliajele de aluminiu și părțile structurale ceramice. Această eroziune puternică produce un număr mare de particule, care nu numai că necesită întreținere frecventă a echipamentelor de producție, dar provoacă și defecțiunea camerei procesului de gravare și deteriorarea dispozitivului în cazuri severe.

Y2O3 este un material cu proprietăți chimice și termice foarte stabile. Punctul său de topire este mult peste 2400℃. Poate rămâne stabil într-un mediu puternic coroziv. Rezistența sa la bombardarea cu plasmă poate prelungi foarte mult durata de viață a componentelor și poate reduce particulele din camera de gravare.

Soluția principală este pulverizarea acoperirii Y2O3 de înaltă puritate pentru a proteja camera de gravare și alte componente cheie.