Paleta cantilever din carbură de siliciu de la VeTek Semiconductor este o componentă importantă în procesul de fabricare a semiconductorilor, potrivită în special pentru cuptoarele de difuzie sau cuptoarele LPCVD în procese la temperatură înaltă, cum ar fi difuzia și RTP. Paleta noastră cu consolă din carbură de siliciu este proiectată și fabricată cu atenție, având o rezistență excelentă la temperaturi ridicate și o rezistență mecanică și poate transporta în siguranță și fiabil napolitane la tubul de proces în condiții dure de proces pentru diferite procese de temperatură înaltă, cum ar fi difuzia și RTP. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Puteți fi siguri că cumpărați paletă personalizată cu carbură de siliciu de la VeTek Semiconducto. Așteptăm cu nerăbdare să cooperăm cu dumneavoastră, dacă doriți să aflați mai multe, ne puteți consulta acum, vă vom răspunde în timp util!
Paleta Cantilever din carbură de siliciu de la VeTek Semiconductor este fabricată din carbură de siliciu de înaltă puritate și are o rezistență excelentă la temperaturi ridicate și o rezistență mecanică. Este o componentă cheie indispensabilă în procesul de fabricație a semiconductorilor, în special în cuptoarele de difuzie sau LPCVD și procesele RTP. Designul și fabricarea precisă a paletei cu consolă cu carbură de siliciu asigură poziționarea și transferul în siguranță a napolitanelor pentru a îndeplini cerințele procesului de înaltă precizie.
Paleta cantilever din carbură de siliciu de la VeTek Semiconductor este realizată din carbură de siliciu ca material principal. Carbura de siliciu are caracteristicile rezistenței ridicate și stabilității termice bune, astfel încât poate rezista la condiții dure în mediul de proces de temperatură înaltă al cuptoarelor cu semiconductor. Unul dintre motivele pentru care alegeți carbura de siliciu este că se poate adapta la mediul de temperatură înaltă din cuptoarele cu semiconductor.
Designul paletei cantilever din carbură de siliciu îi permite să se extindă în tubul de proces din cuptor și să fie fixat ferm la un capăt în afara tubului. Acest design asigură că placheta care este prelucrată rămâne stabilă și susținută în timpul procesului și minimizează interferența cu mediul termic din cuptor.
VeTek Semiconductor s-a angajat să furnizeze produse de înaltă calitate cu palete în consolă SiC. Produsele noastre sunt proiectate și fabricate cu atenție pentru a îndeplini cerințele stricte ale procesului de fabricație a semiconductorilor. Performanța excelentă și fiabilitatea paletei cu consolă cu carbură de siliciu fac din aceasta o componentă cheie indispensabilă în industria semiconductoarelor. VeTek Semiconductor se angajează să ofere produse de calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Proprietățile fizice ale carburii de siliciu recristalizate | |
Proprietate | Valoare tipica |
Temperatura de lucru (°C) | 1600°C (cu oxigen), 1700°C (mediu de reducere) |
continut SiC | > 99,96% |
Conținut gratuit Si | < 0,1% |
Densitate în vrac | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porozitate aparentă | < 16% |
Rezistența la compresiune | > 600 MPa |
Rezistența la îndoire la rece | 80-90 MPa (20°C) |
Rezistența la îndoire la cald | 90-100 MPa (1400°C) |
Expansiune termică la 1500°C | 4,70 10-6/°C |
Conductivitate termică @1200°C | 23 W/m•K |
Modul elastic | 240 GPa |
Rezistenta la socuri termice | Extrem de bine |