Inel de suport acoperit cu SiC

VeTek Semiconductor, un producător și furnizor de top cu sediul în China, este specializat în producerea unei game de produse, inclusivInele suport acoperite cu SiC, acoperiri cu carbură de siliciu CVD, acoperiri cu carbură de tantal, SiC în vrac, pulberi de SiC și materiale SiC de înaltă puritate. Devotamentul nostru constă în a oferi asistență tehnică cuprinzătoare și rezoluții optime de produs, adaptate pentru sectorul semiconductorilor. Nu ezitați să ne contactați pentru mai multe informații și asistență.

VeTek SemiconductorluiInele suport acoperite cu SiCsunt o nouă generație de materiale rezistente la temperaturi ridicate. Ca acoperiri rezistente la coroziune, acoperiri rezistente la oxidare și acoperiri rezistente la uzură, acestea pot fi utilizate în medii peste 1650 ℃ și sunt utilizate pe scară largă în câmpurile semiconductoare.

Caracteristicile de înaltă calitate aleInele suport acoperite cu SiCjoacă un rol foarte important în creșterea epitaxială a componentelor semiconductoare de a treia generație.

Menținerea uniformității temperaturii: Inelele suport acoperite cu SiC au o conductivitate termică excelentă și pot asigura o distribuție uniformă a temperaturii în timpul creșterii epitaxiale. Acest lucru ajută la reducerea gradienților termici și a tensiunilor pe suprafața plachetei, îmbunătățind astfel calitatea stratului epitaxial.

Stabilitate chimică extremă: În timpul procesului de creștere epitaxială,Inele suport acoperite cu SiCsunt capabili să reziste atacului chimic din partea gazelor de reacție, prelungind durata de viață a inelelor suport și menținând integritatea procesului. Această stabilitate chimică ajută la reducerea riscului de contaminare și la îmbunătățirea purității și a performanței dispozitivelor semiconductoare.

Poziționare precisă: Inelele de suport acoperite cu SiC sunt capabile să mențină poziționarea precisă a plachetei, care este esențială pentru obținerea depunerii uniforme a stratului. Această poziționare precisă ajută la asigurarea consistenței grosimii și calității stratului epitaxial.

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC:

Magazin de producție de semiconductori VeTek:

Prezentare generală a lanțului industriei de epitaxie a cipurilor semiconductoare: