În calitate de producător și furnizor de top de acoperire prin satelit acoperită cu SiC pentru produse MOCVD în China, Vetek Semiconductor acoperirea cu satelit acoperită cu SiC pentru produsele MOCVD are o rezistență extremă la temperaturi ridicate, o rezistență excelentă la oxidare și o rezistență excelentă la coroziune, jucând un rol de neînlocuit în asigurarea epitaxiale de înaltă calitate. creștere pe napolitane. Bun venit întrebările dvs. ulterioare.
În calitate de furnizor și producător de încredere de acoperire prin satelit acoperită cu SiC pentru MOCVD, Vetek Semiconductor se angajează să furnizeze soluții de procese epitaxiale de înaltă performanță industriei semiconductoarelor. Produsele noastre sunt bine concepute pentru a servi ca placă centrală MOCVD critică atunci când creștem straturile epitaxiale pe plachete și sunt disponibile în opțiuni de structură cu angrenaje sau inele pentru a satisface diferitele nevoi de proces. Această bază are o rezistență excelentă la căldură și rezistență la coroziune, ceea ce o face ideală pentru prelucrarea semiconductoarelor în medii extreme.
Capacul Vetek Semiconductor pentru satelit acoperit cu SiC pentru MOCVD are avantaje semnificative pe piață datorită mai multor caracteristici importante. Suprafața sa este complet acoperită cu un strat sic pentru a preveni eficient peelingul. De asemenea, are rezistență la oxidare la temperaturi ridicate și poate rămâne stabil în medii de până la 1600°C. Mai mult, Susceptor de grafit acoperit cu SiC pentru MOCVD este realizat printr-un proces de depunere chimică în vapori CVD în condiții de clorurare la temperatură înaltă, asigurând o puritate ridicată și oferind o rezistență excelentă la coroziune la acizi, alcaline, săruri și reactivi organici cu o suprafață densă și particule fine.
În plus, capacul nostru satelit acoperit cu SiC pentru MOCVD este optimizat pentru a obține cel mai bun model de flux de aer laminar pentru a asigura o distribuție uniformă a căldurii și pentru a preveni eficient difuzarea contaminanților sau a impurităților, asigurând astfel calitatea creșterii epitaxiale pe cipurile de plachetă. .
● Acoperit complet pentru a evita exfolierea: Suprafața este acoperită uniform cu carbură de siliciu pentru a preveni desprinderea materialului.
● Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate: Susceptorul MOCVD acoperit cu SiC poate menține performanța stabilă în medii de până la 1600°C.
● Proces de înaltă puritate: SiC Coating MOCVD Susceptor este realizat folosind procesul de depunere CVD pentru a asigura o acoperire cu carbură de siliciu de înaltă puritate, fără impurități.
● Rezistență excelentă la coroziune: MOCVD Susceptor este compus din suprafață densă și particule minuscule, care este rezistent la acizi, alcalii, săruri și solvenți organici.
● Mod de flux laminar optimizat: asigură distribuția uniformă a căldurii și îmbunătățește consistența și calitatea creșterii epitaxiale.
● anti-poluare eficientă: Preveniți difuzia impurităților și asigurați puritatea procesului epitaxial.
Capacul satelit acoperit cu SiC de la Vetek Semiconductor pentru MOCVD a devenit o alegere ideală în producția de semiconductori epitaxiale datorită performanței și fiabilității sale ridicate, oferind clienților garanții de încredere pentru produse și procese. În plus, VetekSemi se angajează întotdeauna să furnizeze tehnologie avansată și soluții de produse pentru industria semiconductoarelor și oferă servicii personalizate de produse SiC Coating MOCVD Susceptor. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC
Proprietate
Valoare tipică
Structura de cristal
FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111).
Densitate
3,21 g/cm³
Duritate
Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g)
Dimensiunea boabelor
2~10μm
Puritatea chimică
99,99995%
Capacitatea termică
640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimare
2700℃
Rezistența la încovoiere
415 MPa RT în 4 puncte
Modulul Young
430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
Conductivitate termică
300W·m-1·K-1
Expansiune termică (CTE)
4,5×10-6K-1
Capac pentru satelit acoperit cu SiC de la Vetek Semiconductor pentru magazine MOCVD: