VeTek Semiconductor este specializată în producția de produse de acoperire cu carbură de siliciu ultra pure, aceste acoperiri sunt concepute pentru a fi aplicate pe grafit purificat, ceramică și componente metalice refractare.
Acoperirile noastre de înaltă puritate sunt destinate în primul rând utilizării în industriile semiconductoare și electronice. Acestea servesc ca un strat de protecție pentru purtătorii de plachete, susceptori și elemente de încălzire, protejându-le de mediile corozive și reactive întâlnite în procese precum MOCVD și EPI. Aceste procese sunt parte integrantă a procesării plachetelor și a fabricării dispozitivelor. În plus, acoperirile noastre sunt potrivite pentru aplicații în cuptoare cu vid și încălzire a probelor, unde se întâlnesc medii de vid înalt, reactive și oxigen.
La VeTek Semiconductor, oferim o soluție cuprinzătoare cu capabilitățile noastre avansate de atelier de mașini. Acest lucru ne permite să fabricăm componentele de bază folosind grafit, ceramică sau metale refractare și să aplicăm acoperirile ceramice SiC sau TaC în interior. Oferim, de asemenea, servicii de acoperire pentru piesele furnizate de client, asigurând flexibilitate pentru a răspunde nevoilor diverse.
Produsele noastre de acoperire cu carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în epitaxie Si, epitaxie SiC, sistem MOCVD, proces RTP/RTA, proces de gravare, proces de gravare ICP/PSS, proces de diferite tipuri de LED, inclusiv LED albastru și verde, LED UV și UV adânc LED etc., care este adaptat echipamentelor de la LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI și așa mai departe.
Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC | |
Proprietate | Valoare tipică |
Structura de cristal | FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111). |
Densitate | 3,21 g/cm³ |
Duritate | Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g) |
Dimensiunea boabelor | 2~10μm |
Puritatea chimică | 99,99995% |
Capacitate termică | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura de sublimare | 2700℃ |
Rezistența la încovoiere | 415 MPa RT în 4 puncte |
Modulul Young | 430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃ |
Conductivitate termică | 300W·m-1·K-1 |
Expansiune termică (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor SiC Coated ICP Etching Carrier este proiectat pentru cele mai solicitante aplicatii de echipamente de epitaxie. Fabricat din material grafit ultra-pur de înaltă calitate, suportul nostru de gravare ICP acoperit cu SiC are o suprafață foarte plană și o rezistență excelentă la coroziune pentru a rezista la condițiile dure în timpul manipulării. Conductivitatea termică ridicată a suportului acoperit cu SiC asigură o distribuție uniformă a căldurii pentru rezultate excelente de gravare. VeTek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să construiască un parteneriat pe termen lung cu dvs.
Citeşte mai multTrimite o anchetăPlaca de transport pentru gravare PSS VeTek Semiconductor pentru semiconductor este un suport de grafit ultra-pur de înaltă calitate, conceput pentru procesele de manipulare a plachetelor. Transportatorii noștri au performanțe excelente și pot funcționa bine în medii dure, temperaturi ridicate și condiții dure de curățare chimică. Produsele noastre sunt utilizate pe scară largă pe multe piețe europene și americane și așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător și inovator principal de susceptori de recoacere termică rapidă în China. Suntem specializați în material de acoperire SiC de mulți ani. Oferim susceptori de recoacere termică rapidă de înaltă calitate, rezistență la temperatură ridicată, super subțire. Vă așteptăm cu drag să ne vizitați. fabrică din China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este un producător și furnizor profesionist, dedicat furnizării de susceptor epitaxial GaN pe bază de siliciu de înaltă calitate. Semiconductorul susceptor este utilizat în sistemul VEECO K465i GaN MOCVD, puritate ridicată, rezistență la temperatură ridicată, rezistență la coroziune, bine ați venit să întrebați și să cooperați cu noi!
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este o piesă semilună de 8 inch pentru producătorul și inovator de reactoare LPE în China. Suntem specializați în material de acoperire SiC de mulți ani. Oferim o piesă semilună de 8 inch pentru reactorul LPE proiectat special pentru reactorul de epitaxie LPE SiC. Această jumătate de lună este o soluție versatilă și eficientă pentru fabricarea semiconductoarelor, cu dimensiunea optimă, compatibilitatea și productivitatea ridicată. Vă urăm bun venit să vizitați fabrica noastră din China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăVeTek Semiconductor este unul dintre cei mai importanți susceptori de clătite acoperite cu SiC pentru producător și inovator de napolitane LPE PE3061S de 6 inchi în China. Suntem specializați în material de acoperire SiC de mulți ani. Oferim un susceptor de clătite acoperit cu SiC proiectat special pentru napolitanele LPE PE3061S de 6 inchi. . Acest susceptor epitaxial are rezistență ridicată la coroziune, performanță bună de conducere a căldurii, uniformitate bună. Vă invităm să vizitați fabrica noastră din China.
Citeşte mai multTrimite o anchetă